Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder), Brandenburg
Aktenzeichen IHP-2026-018veröffentlicht 04.11.2026LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Brandenburg (100 offen)
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Ort der Leistung
- Frankfurt (Oder)15236, Brandenburg
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertja
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 99 Tage (17 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (31 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 30 %, Leistung und Qualität 70 %.
- Preis30 %
- Technische/Technologische Bewertung70 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −2,7 Punkte |
| 25 % teurer | −6 Punkte |
| 50 % teurer | −10 Punkte |
| 100 % teurer | −15 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Veröffentlichungvor 4 Tagen
- Heute
Beschreibung
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
Beschreibung des Loses
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich.
Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren.
Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen.
Gegenstand nach CPV
Bedingungen
Zuschlag2 von 2 angegeben
- Preis
- Gewichtung (Punkte, genau) 30Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode"
- Qualität
- Technische/Technologische BewertungGewichtung (Punkte, genau) 70
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz3 von 3 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Heinrich-Mann-Allee 107, 14473 Potsdam
- Fristen für Nachprüfungsanträge
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Fri … ganz lesenkürzer
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben
- Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDDY6ZDRMNC# Project "APECS pilot line" Equipment procurement Special conditions for the tender Checks, Audits, and Investigations: The equipment is procured as part of the EU project "APECS pilot line". The EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other … ganz lesenkürzer
#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDDY6ZDRMNC# Project "APECS pilot line" Equipment procurement Special conditions for the tender Checks, Audits, and Investigations: The equipment is procured as part of the EU project "APECS pilot line". The EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other EU bodies), which is responsible for financing and the contracting authority may carry out audits of the procurement processes. To ensure that these conditions can be met, the following rules apply to suppliers/contractors: - The contractor must keep all original documents on a suitable medium, including digitized originals, for a period of five years from the date of payment of the final invoice, if permit-ted by national law. - The contractor must grant the client's employees and outside personnel authorized by the contracting authority the appropriate right of access to the sites and premises where the contract is being performed and to all information, including information in electronic form, that is necessary to carry out such checks and audits. The contractor must ensure that the information is readily available at the time of the inspection or audit and will be provided in an appropriate format upon request. - On the basis of the findings made during the audit, a provisional report is drawn up. The contracting authority or its authorised representative must send it to the contractor, who has 30 days following the date of receipt to submit observations. The contractor must re-ceive the final report within 60 days following the expiry of that deadline to submit obser-vations. - On the basis of the final audit findings, the contracting authority may recover all or part of the payments made in accordance with the relevant procedure and may take any other measure which it considers necessary. - In accordance with Council Regulation (Euratom, EC) No 2185/96 of 11 November 1996 con-cerning on-the-spot checks and inspection carried out by the Commission in order to pro-tect the European Communities" financial interests against fraud and other irregularities and Regulation (EU, Euratom) No 883/2013 of the European Parliament and the Council of 11 September 2013 concerning investigation conducted by the European Anti-Fraud Office , the European Anti-Fraud Office may carry out investigations, including on-the-spot checks and inspections, to establish whether there has been fraud, corruption or any other illegal activity under the contract affecting the financial interests of the Union. Findings arising from an investigation may lead to criminal prosecution under national law. - The investigations may be carried out at any moment during the provision of the services and up to five years starting from the payment of the balance.
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| SFI Solutions for Instruments GmbH, Allershausen | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder)
- Kontakt
- vergabestelle@
ihp-microelectronics.com
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Marktumfeldvon uns ausgewertet
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- ASM Europe B.V.2 Zuschläge
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Preise und WettbewerbPremium
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 05.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427.