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vergebenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder), Brandenburg

Aktenzeichen IHP-2026-045veröffentlicht 04.11.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 25 Tagen abgelaufen

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Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Frankfurt (Oder)15236, Brandenburg
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 99 Tage (17 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (31 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Preis35 %
  • Technical quality and performance40 %
  • Integration with the existing Keithley 4200A-SCS system15 %
  • Delivery, commissioning and service10 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 3 Tagen
  2. Heute

Beschreibung

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.

Beschreibung des Loses

The procurement comprises the supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers.

The system shall be suitable for DC and pulsed I-V measurements as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be capable of integration with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system.

The scope of supply includes, in particular, a shielded prober chamber with temperature-controlled chuck (-60 °C to +300 °C), six electrical Kelvin probes with triaxial FORCE/SENSE interfaces, automated microscope and camera systems, anti-vibration table, hardware and software control, PC and displays, all required cabling and interfaces, as well as installation, commissioning, integration support, operator training and technical documentation.

The supplier shall provide a complete and fully functional system, including all components, interfaces, accessories and services required for proper operation and successful integration into the existing measurement environment.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag4 von 4 angegeben

Preis
Gewichtung (Punkte, genau) 35Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode"
Qualität
Technical quality and performanceGewichtung (Punkte, genau) 40,001The evaluation will consider, in particular: - technical performance and precision of the wafer positioning system - chuck and wafer handling concept - temperature control and temperature stability over the specified range - electrical probe system and suitability for low-noise FORCE/SENSE measurements - suitability for DC, pulsed I-V and low-frequency impedance measurements up to 10 MHz - optical system, microscope and camera functionality - degree of automation and ease of operation - overall technical design and suitability for the intended application The assessment will be based on the technical documentation submitted with the tender.
Qualität
Integration with the existing Keithley 4200A-SCS systemGewichtung (Punkte, genau) 15,002Only technically compliant offers fulfilling all mandatory integration requirements specified in Section 2.7 will be evaluated under this criterion. The assessment will consider the quality and robustness of the proposed integration concept, in particular: - technical robustness and suitability of the interface concept - quality of the triaxial FORCE/SENSE implementation - suitability of the signal routing and switching concept for the intended measurements - measures for low-noise operation, including the avoidance or reduction of leakage currents, interference and ground-loop effects - suitability of the proposed chuck-terminal implementation for accurate capacitance measurements - quality and usability of the software/control integration - quality of the commissioning and functional-verification concept; - completeness and technical clarity of the proposed integration concept. The assessment will be based on the technical documentation and integration concept submitted with the tender. Additional points will be awarded only for identifiable technical advantages beyond the mandatory requirements. The fact that the mandatory integration requirements are fulfilled does not, by itself, constitute an additional benefit.
Qualität
Delivery, commissioning and serviceGewichtung (Punkte, genau) 9,997The evaluation will consider, in particular: - earliest possible delivery date - installation and commissioning concept - expected duration of installation and commissioning - availability and scope of on-site integration support - operator training - warranty and service concept - availability of technical support and spare parts The assessment will be based on the delivery schedule, installation and commissioning concept, service information and other relevant documentation submitted with the tender.

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE), Heinrich-Mann-Allee 107, 14473 Potsdam
Fristen für Nachprüfungsanträge
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Fri … ganz lesenVerstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDDY5HYF3LD# Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. … ganz lesen#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDDY5HYF3LD# Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Fragen oder Auskünfte, die auf anderen Kommunikationswegen eingehen, können nicht berücksichtigt werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
ATV Systems GmbH, Dresden1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Art
Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder)
Kontakt
vergabestelle@ihp-microelectronics.com

Bei uns erfasst

449Bekanntmachungen
41Zuschlagsmeldungen

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 385 (Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen) in Brandenburg. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

16vergebene Aufträge
–Angebotszahl bei nur 4 Losen angegeben
–Zuschlagswert bei nur 1 Meldungen plausibel angegeben

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 13.10.2026

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