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Frist abgelaufenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder), Brandenburg

Aktenzeichen IHP-2025-048veröffentlicht 08.07.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 456 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabemarktplatz.brandenburg.de

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Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Frankfurt (Oder)15236, Brandenburg
Einreichung
elektronisch: Erforderlichvergabemarktplatz.brandenburg.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetja
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 99 Tage (17 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (31 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 16 Monaten
  2. Fragen bis 23:59 Uhr
    an IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
    vor 15 Monaten
  3. Angebotsfrist 12:00 Uhr
    nur elektronisch über vergabemarktplatz.brandenburg.de
    vor 15 Monaten
  4. Öffnung der Angebote 12:00 Uhr
    vor 15 Monaten
  5. Bindefrist endet
    60 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 13 Monaten
  6. Heute

Beschreibung

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.

Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert.

Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe.

Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein.

Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel.

Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren.

- Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten. - System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen - Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung - Trockenes Pumpensystem - Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff - Montage der Kältemaschine - Ersatzteil-Kit

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag0 von 1 angegeben

Kriterien
keine Angabe

Eignung4 von 4 angegeben

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch d … ganz lesenReferenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Eintragung in das Handelsregister
Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Vers … ganz lesenRein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
60 Tage
Angebotsöffnung
08.08.2025, 12:00 Uhr
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: -
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten, Heinrich-Mann-Allee 107, 14473 Potsdam
Fristen für Nachprüfungsanträge
-
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben

Hinweis
#Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Hinweis
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. … ganz lesenBekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Art
Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder)
Kontakt
vergabestelle@ihp-microelectronics.com

Bei uns erfasst

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

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16vergebene Aufträge
–Angebotszahl bei nur 4 Losen angegeben
–Zuschlagswert bei nur 1 Meldungen plausibel angegeben

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung ad69229f-eddd-4d6c-9c48-c49e25b8c568.