Zum Inhalt
Menü
MerkenOriginalbekanntmachung
vergebenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen1 Berichtigung

3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 ) - PR876527-2690-P

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern

Aktenzeichen PR876527-2690-Pveröffentlicht 25.04.2025erstmals 25.04.2025LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Teilnahmefristseit 525 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabe.fraunhofer.de
Diese Fassung ist berichtigt worden. Aktuell ist die Meldung vom 25.04.2025.Zur aktuellen Fassung

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
14 Monate
Lose
2
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendnein
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (132 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • technische Anforderungen65 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 04.11.2026

  1. Erstveröffentlichung
    vor 18 Monaten
  2. 1. Berichtigung (diese Fassung)
    vor 18 Monaten
  3. Teilnahmeanträge bis 10:00 Uhr
    vor 17 Monaten
  4. Heute

Beschreibung

3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 )

Gegenstand nach CPV

Lose2 Lose

Alle 2 Lose haben dieselben Bedingungen, Fristen und Kriterien. Sie stehen deshalb einmal unter Bedingungen.

Lose dieses Verfahrens
LosGegenstandLaufzeitGeschätzter Wert
1
Los 1: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1)

The Fraunhofer Institute for Microstructure of Materials and Systems IMWS researches the application behaviour, reliability, safety and lifetime of innovative materials in components and systems. The Business Unit "Electronic Materials and Components" Fraunhofer IMWS support industry and research partners by its internationally recognized expertise in failure analyses of electronic components. Fraunhofer IMWS will enhance its capabilities for advanced failure analysis and material characterization to support the ramp up of new heterogenous integration technologies addressing the manufacturing and reliability challenges. Fraunhofer IMWS has extensive experience in applying and developing non destructive thermal defect localization techniques for failure analysis, particularly in semiconductors for automotive electronics, where precise non-destructive testing is essential. With years of expertise in developing Lock-in Thermography (LIT) methods and creating advanced methods for signal processing, Fraunhofer IMWS has continuously pushed the boundaries of LIT technology to improve resolution and sensitivity, especially for 2.5D/3D imaging and modern packaing applications. To further enhance defect localization capabilities on 3D devices and IC-stacks, the integration of an combined Lock-In Thermography (LIT) and Optical Beam Induced Resistance Change (OBIRCH) measurement system is planned. This enables a precise defect localization of defects with thermal emission and addionally a defect localiaztion of failures with no adequate thermal emission but with electrical sensitivity during an optical excitation. The system should be open for developing of own applications for advanced signal processing of measured values to improve sensitivty and resolution regarding 3D and stacked devices. This tender is for the supply of a combindes LIT and OBIRCH measurements system, including optional features, software support, documentation, delivery, acceptance testing, and warranty.

14 Monate–
2
Los 2: SEM Scanning Electron Microscope (IMWS-3.1)

The Fraunhofer Institute for Microstructure of Materials and Systems IMWS researches the application behaviour, reliability, safety and lifetime of innovative materials in components and systems. The Business Unit "Electronic Materials and Components" Fraunhofer IMWS support industry and research partners by its internationally recognized expertise in failure analyses of electronic components. Fraunhofer IMWS will enhance its capabilities for advanced failure analysis and material characterization to support the ramp up of new heterogenous integration technologies addressing the manufacturing and reliability challenges. The e-beam prober system is required for electrical fault isolation of modern integrated circuits (sub 20 nm-nodes) similar to laser based probing techniques utilizing high frequency active voltage contrast detection with nm-resolution. The main application is to probe electrical signals on transistor level and to read out logic states in IC structures and volatile memory arrays to identify functional failures and perform resilience testing of secured IC functions. A complete functional e-beam prober system should be offered including assembly, commissioning and all necessary connections, parts and approvals/certifications for operation. The components and specific requirements are listed below.

13 Monate–

Bedingungengilt für alle Lose

Zuschlag1 von 1 angegeben

technische Anforderungen65 %
Preis35 %
Qualität
technische Anforderungen

Eignung6 von 6 angegeben

Kriterium
genannt
Kriterium
genannt
Kriterium
genannt
Kriterium
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-195fc2ea685-48e83682e3e228ed
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
14 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Zulässig
Einreichung über
vergabe.fraunhofer.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenEin Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

748Bekanntmachungen
181Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 385 (Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

120vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (131 Lose mit Angabe)
424.502 €Zuschlagswert im Median
302.839 € – 855.775 €mittlere Hälfte, 28 Werte

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Bayern (32 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens5 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. 2. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist 27.05.2025
  3. 1. Berichtigung (diese Seite) · Aktualisierte InformationenFrist 27.05.2025
  4. 1. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist 27.05.2025
  5. BekanntmachungFrist 27.05.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Ähnliche offene Ausschreibungen

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 22a0ce56-e04d-45cf-a2da-1756af733986.