Trockenätzcluster - PR624203-2790-W
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern
Aktenzeichen PR624203-2790-Wveröffentlicht 03.02.2025LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Laufzeit
- 8 Monate
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Geplant · Neuausschreibung möglich
Vertrag endete voraussichtlich am
bereits erreicht · aus Vertragsdatum und Laufzeit errechnet
Endet ein Vertrag, schreibt die Vergabestelle die Leistung oft neu aus. Merken Sie den Vertrag vor: Wir erinnern Sie per E-Mail vor dem Vertragsende und melden, wenn dieselbe Vergabestelle eine ähnliche Leistung ausschreibt.
Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- 8 Monate
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.
- Technische Ausführung65 %
- Preis35 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,2 Punkte |
| 25 % teurer | −7 Punkte |
| 50 % teurer | −11,7 Punkte |
| 100 % teurer | −17,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 07.11.2026
- Veröffentlichungvor 21 Monaten
- Heute
Beschreibung
1 Stk Trockenätzcluster mit Optionen: 4.4 Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten 5.1.4 Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) Beschreibung, welche weiteren Metalle in der vorliegenden Konfiguration geätzt werden können 6.4.7 Anisotropes Ätzen von SiO2 und Si3N4
Gegenstand nach CPV
- 22520000TrockenätzausrüstungHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- Technische Ausführungtechnical desription
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang3 von 6 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Dauer
- 8 Monate
- Verlängerung
- 4.4 Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten 5.1.4 Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) Beschreibung, welche weiteren Metalle in der vorliegenden Konfiguration geätzt werden können 6.4.7 Anisotropes Ätzen von SiO2 und Si3N4
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- VERGABEKAMMER, Villemombler Straße 76, 53123 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Oxford Instruments, Wiesbaden | 3 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
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Verlauf des Verfahrens2 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- BekanntmachungFrist 08.03.2024
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 9396c948-6e9e-42da-a878-7e81c2620687.