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vergebenEU-weitLieferleistungen

Trockenätzcluster - PR624203-2790-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern

Aktenzeichen PR624203-2790-Wveröffentlicht 07.02.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Teilnahmefristseit 974 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabe.fraunhofer.de

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
8 Monate
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendnein
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Technische Ausführung65 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 33 Monaten
  2. Teilnahmeanträge bis 10:00 Uhr
    vor 32 Monaten
  3. Heute

Beschreibung

1 Stk Trockenätzcluster mit Optionen: 4.4 Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten 5.1.4 Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) Beschreibung, welche weiteren Metalle in der vorliegenden Konfiguration geätzt werden können 6.4.7 Anisotropes Ätzen von SiO2 und Si3N4

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Technische Ausführung65 %
Preis35 %
Qualität
Technische Ausführung

Eignung6 von 6 angegeben

Kriterium
genannt
Kriterium
genannt
Kriterium
genannt
Kriterium
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18d8373a014-4e369d0b0e05936c
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe

Laufzeit und Umfang3 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
8 Monate
Verlängerung
4.4 Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten 5.1.4 Ätzen weiterer Metalle (wie Pt, Hf, W, Ge, Ni, einsilizidierte Ni) Beschreibung, welche weiteren Metalle in der vorliegenden Konfiguration geätzt werden können 6.4.7 Anisotropes Ätzen von SiO2 und Si3N4
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Zulässig
Einreichung über
vergabe.fraunhofer.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
VERGABEKAMMER, Villemombler Straße 76, 53123 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenEin Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

3.245Bekanntmachungen
1.264Zuschlagsmeldungen

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Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 08.03.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 02e002f7-e8e3-4f49-b394-34a7c3a98374.