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ohne Zuschlag beendetEU-weitLieferleistungen

Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern

Aktenzeichen PR896468-2480-Pveröffentlicht 12.05.2025LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Teilnahmefristseit 514 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabe.fraunhofer.de

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Laut Vergabemeldung wurde dieses Verfahren ohne Zuschlag beendet, zum Beispiel aufgehoben. Oft schreibt die Vergabestelle die Leistung neu aus.

Ohne Zuschlag beendet. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
23 Monate
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendnein
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Technische Ausführung65 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 18 Monaten
  2. Teilnahmeanträge bis 10:00 Uhr
    vor 17 Monaten
  3. Heute

Beschreibung

Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1)

Beschreibung des Loses

1 piece Single Wafer ALD for TiN

A single wafer atomic layer deposition system for TiN as well as for Al2O3 and SiO2 is adressed. The system has to be featured with a remote plasma source either for TiN process or prepearing the surface directly before ALD. This system is necessary for two major process line applications. One application is the deposition of a TiN barrier inside of TSV for the advanced integration of MEMS chiplets. The second application scenario is the Via or frontside TSV liner/barrier deposition for QMI (quasi monolithic integration) metallization systems. In both applications the conformal deposition of the barrier is necessary to achieve best contact quality. It is curcial that only the front side of a wafer is deposited by the film. Additionally the system needs to be capable to provide state-of-the-art dielectric films such as Al2O3 and SiO2. Such system has to be integrated directly into the advanced QMI integration line to prevent contamination, hence mechanical defects and contamination topics are crucial. The system will be installed in a normal cleanroom support structure.

optional service items: 02.02 Hardware Requirements "Single Wafer or Batch chamber with SiO2 and Al2O3 ALD separated from TiN process chamber " yes / no 04.06 Cassette / Wafer specifications Processing of quartz wafer according to above mentioned specs yes / no 08.01 Process System All pressure gauge connections are equipped with an isolation valve to allow swapping w/o the need to vent the chamber yes / no 09.01.01 Process Specification - general System for layer growth control (Quartz cristal microbalance, reflectometer, ellipsometer or similar) yes / no 12.06 Extended Warranty Please offer an extended warranty of further 24-months yes / no 13.01 Optional Atomic layer etch process for adressed material systems in same process chambers yes / no 13.02 Optional In situ optical monitoring (e.g. ellipsometry) for process control feedback yes / no 13.03 Optinal Set of consumable parts (chamber insets, o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period yes / no

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Technische Ausführung65 %
Preis35 %
Qualität
Technische Ausführung

Eignung4 von 4 angegeben

Finanzkennzahlen
Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Alle anderen Eignungskriterien entnehmen Sie bitte dem Direktlink.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen, Rein nationale Ausschlussgründe
Begrenzung der Bewerberzahl
3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
23 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Zulässig
Einreichung über
vergabe.fraunhofer.de
Sprache
Deutsch, Englisch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenEin Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
Gewünschter Liefertermin: Q1 2027

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

889Bekanntmachungen
247Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge
1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 12.06.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung c0f17d71-aa03-4cf0-8797-edda2e19f48d.