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vergebenEU-weitLieferleistungen

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Erlangen, Bayern

Aktenzeichen 2026000322veröffentlicht 23.09.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 55 Tagen abgelaufen

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung in Bayern.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Geplant · Neuausschreibung möglich

Vertrag endet voraussichtlich am – Neuausschreibung möglich

in 7 Monaten · Ende steht in der Bekanntmachung

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Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
8 Monate13.10.2026 – 21.06.2027
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Erlangen91052, Bayern
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 55 Tage (14 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (16 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 60 %, Leistung und Qualität 40 %.

  • Preis60 %
  • Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog40 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 10 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−5,5 Punkte
25 % teurer−12 Punkte
50 % teurer−20 Punkte
100 % teurer−30 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 06.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 44 Tagen
  2. Vertragsbeginn
    Laufzeit bis 21.06.2027
    vor 24 Tagen
  3. Heute

Beschreibung

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Preis60 %
Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog40 %
Qualität
Leistungsbewertung gemäß KriterienkatalogKriterien auf der Vergabeplattform

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
13.10.2026
Vertragsende
21.06.2027
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern, Promenade 27, 91522 Ansbach
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Art
Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Konrad-Zuse-Straße 3-5, 91052 Erlangen
Website
auftraege.bayern.de
Kontakt
aqut-info@fau.de
Auskünfte
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnbergaqut-info@fau.de

Bei uns erfasst

52Bekanntmachungen
33Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

81vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (89 Lose mit Angabe)
305.451 €Zuschlagswert im Median
228.001 € – 499.987 €mittlere Hälfte, 13 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 11.09.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung fd2b2d3d-a042-428f-b871-894660c4e7ff.