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vergebenEU-weitLieferleistungen

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Erlangen, Bayern

Aktenzeichen 2026000322veröffentlicht 27.08.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 56 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungevergabe.bayern.de

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung in Bayern.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
8 Monate13.10.2026 – 21.06.2027
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Erlangen91052, Bayern
Einreichung
elektronisch: Erforderlichevergabe.bayern.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 54 Tage (15 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (16 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 60 %, Leistung und Qualität 40 %.

  • Preis60 %
  • Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog40 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 10 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−5,5 Punkte
25 % teurer−12 Punkte
50 % teurer−20 Punkte
100 % teurer−30 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 2 Monaten
  2. Fragen bis 10:00 Uhr
    an Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
    vor 2 Monaten
  3. Angebotsfrist 23:59 Uhr
    nur elektronisch über evergabe.bayern.de
    vor 57 Tagen
  4. Bindefrist endet
    31 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 26 Tagen
  5. Vertragsbeginn
    Laufzeit bis 21.06.2027
    vor 25 Tagen
  6. Heute

Beschreibung

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Preis60 %
Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog40 %
Qualität
Leistungsbewertung gemäß KriterienkatalogKriterien auf der Vergabeplattform

Eignung5 von 5 angegeben

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
auf der Vergabeplattform (evergabe.bayern.de)
Studien-, technische und Forschungseinrichtungen
Applikationsreinraum
Umweltmanagementmaßnahmen
Umweltzertifizierung
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe

Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
13.10.2026
Vertragsende
21.06.2027
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung8 von 10 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
evergabe.bayern.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronische Signatur
nicht verlangt
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
31 Tage
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern, Promenade 27, 91522 Ansbach
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Art
Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Konrad-Zuse-Straße 3-5, 91052 Erlangen
Website
auftraege.bayern.de
Kontakt
aqut-info@fau.de
Auskünfte
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnbergaqut-info@fau.de

Bei uns erfasst

53Bekanntmachungen
34Zuschlagsmeldungen

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

81vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (89 Lose mit Angabe)
305.451 €Zuschlagswert im Median
228.001 € – 499.987 €mittlere Hälfte, 13 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 11.09.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 6e7f5a8d-ac5f-424b-9b6c-a3d56334716f.