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vergebenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Plasmaverascher IZHH

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Köln, Nordrhein-Westfalen

Aktenzeichen 2024/GV 7580110veröffentlicht 14.07.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Frist im Verfahrenseit 968 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Köln.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Nordrhein-Westfalen (33 offen)

Geplant · Neuausschreibung möglich

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in 20 Monaten · aus Vertragsdatum und Laufzeit errechnet

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Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
4 Jahre
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Köln51147, Nordrhein-Westfalen
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 95 Tage (116 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (95 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 50 %, Leistung und Qualität 50 %.

  • Qualität des Plasmaveraschers30 %
  • Service und Lieferung20 %
  • Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung50 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 8,3 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−4,5 Punkte
25 % teurer−10 Punkte
50 % teurer−16,7 Punkte
100 % teurer−25 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 05.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 28 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag3 von 3 angegeben

Qualität des Plasmaveraschers30 %
Service und Lieferung20 %
Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung50 %
Qualität
Qualität des Plasmaveraschers
Qualität
Service und Lieferung
Preis
Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
4 Jahre
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist v … ganz lesenNach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
JP Kummer Semiconductor Technology GmbH, Augsburg–

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Art
Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Bildung
Anschrift
Linder Höhe, 51147 Köln
Website
dlr.de
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

1.545Bekanntmachungen
757Zuschlagsmeldungen

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Nordrhein-Westfalen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

350vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (185 Lose mit Angabe)
240.910 €Zuschlagswert im Median
216.000 € – 445.595 €mittlere Hälfte, 68 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 11.03.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung bc492ab3-b6a8-4be1-bcc8-7b8e9d33311c.