Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 95 Tage (116 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (95 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 50 %, Leistung und Qualität 50 %.

Qualität des Plasmaveraschers30 %
Service und Lieferung20 %
Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung50 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Was kostet ein höherer Preis an Punkten?

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 8,3 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer	−4,5 Punkte
25 % teurer	−10 Punkte
50 % teurer	−16,7 Punkte
100 % teurer	−25 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 05.11.2026

09.02.2024
Veröffentlichung
vor 33 Monaten
11.03.2024
Teilnahmeanträge bis 23:59 Uhr
vor 32 Monaten
05.11.2026
Heute

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Gegenstand nach CPV

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)Hauptgegenstand

Bedingungen

Zuschlag3 von 3 angegeben

Qualität des Plasmaveraschers30 %

Service und Lieferung20 %

Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung50 %

Qualität: Qualität des Plasmaveraschers
Qualität: Service und Lieferung
Preis: Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung

Eignung9 von 9 angegeben

Kriterium: Mit dem Teilnahmeantrag ist ein Nachweis der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister einzureichen. Der Nachweis wird erbracht durch einen aktuellen (d.h. zum Zeitpunkt des Ablaufs der Teilnahmefrist nicht älter als drei Monate) Registerauszug oder ein vergleichbares aktuelles Dokument. Ausl … ganz lesenkürzer
Mit dem Teilnahmeantrag ist ein Nachweis der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister einzureichen. Der Nachweis wird erbracht durch einen aktuellen (d.h. zum Zeitpunkt des Ablaufs der Teilnahmefrist nicht älter als drei Monate) Registerauszug oder ein vergleichbares aktuelles Dokument. Ausländische Bewerber können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender aktueller Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft ist der betreffende Nachweis für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Kriterium: Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Eigenerklärung über den Umsatz der vergangenen drei Geschäftsjahre einzureichen. Für neu gegründete Unternehmen sind nur die Umsätze der vorzuweisenden Geschäftsjahre anzugeben und es ist eine Prognose (Businessplan) über die Umsätze der kommenden Geschäftsjahre abzu … ganz lesenkürzer
Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Eigenerklärung über den Umsatz der vergangenen drei Geschäftsjahre einzureichen. Für neu gegründete Unternehmen sind nur die Umsätze der vorzuweisenden Geschäftsjahre anzugeben und es ist eine Prognose (Businessplan) über die Umsätze der kommenden Geschäftsjahre abzugeben. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft ist das betreffende Formblatt für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist das betreffende Formblatt auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Kriterium: Der Nachweis wird erbracht durch die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder eine schriftliche Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der vorgegebenen Mindestanforderung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erkl … ganz lesenkürzer
Der Nachweis wird erbracht durch die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder eine schriftliche Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der vorgegebenen Mindestanforderung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis bzw. die betreffende Erklärung auch für jedes vorgesehene eignungsverleihende Unternehmen einzureichen. Als Mindestanforderung gilt, dass die Versicherung eine Deckungssumme je Versicherungsfall in Höhe von mindestens 3 Mio. € für Personenschäden und 3 Mio. € für Sach- und Vermögensschäden aufweisen muss.
Kriterium: Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Erklärung zur Mitarbeiterentwicklung der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre einzureichen. Neu gegründete Unternehmen, die noch keine drei Geschäftsjahre abgeschlossen haben bzw. noch nicht am Markt etabliert sind, geben die Mitarbeiterzahlen der letzten Jahr … ganz lesenkürzer
Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Erklärung zur Mitarbeiterentwicklung der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre einzureichen. Neu gegründete Unternehmen, die noch keine drei Geschäftsjahre abgeschlossen haben bzw. noch nicht am Markt etabliert sind, geben die Mitarbeiterzahlen der letzten Jahre bzw. Monate nach Gründung an. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft ist die Erklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist die Erklärung auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Kriterium: Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Erklärung einzureichen, in der vergleichbare Referenzprojekte in Bezug auf die Herstellung und den Betrieb der spezifizierten Anlage benannt werden. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft werden die nachgewiesenen Referenzen der Mitgl … ganz lesenkürzer
Mit dem Teilnahmeantrag ist eine Erklärung einzureichen, in der vergleichbare Referenzprojekte in Bezug auf die Herstellung und den Betrieb der spezifizierten Anlage benannt werden. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft werden die nachgewiesenen Referenzen der Mitglieder der Bietergemeinschaft insgesamt in die Wertung einbezogen. Insofern ist anzugeben, welches Mitglied der Bietergemeinschaft Inhaber der Referenz ist. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, werden auch die nachgewiesenen Referenzen des/der eignungsverleihenden Unternehmen(s) in die Wertung einbezogen. Es ist insofern der Name des eignungsverleihenden Unternehmens anzugeben, welches Inhaber der Referenz ist. Als Mindestanforderung gilt, dass mindestens 3 vergleichbare Referenzen benannt werden müssen.
Kriterium: Der Nachweis kann wie folgt erbracht werden: - entweder durch Vorlage eines gültigen Zertifikats gemäß DIN EN ISO 9001 - oder durch Vorlage einer gleichwertigen Zertifizierung auf Basis einer mit der DIN EN ISO 9001 vergleichbaren Norm. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bieterg … ganz lesenkürzer
Der Nachweis kann wie folgt erbracht werden: - entweder durch Vorlage eines gültigen Zertifikats gemäß DIN EN ISO 9001 - oder durch Vorlage einer gleichwertigen Zertifizierung auf Basis einer mit der DIN EN ISO 9001 vergleichbaren Norm. Im Fall der Abgabe eines Teilnahmeantrags durch eine Bietergemeinschaft ist der Nachweis durch jedes Mitglied der Bietergemeinschaft zu führen. Bei Teilnahmeanträgen, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Nachreichen von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bildung krimineller Vereinigungen, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, … ganz lesenkürzer
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bildung krimineller Vereinigungen, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Rein nationale Ausschlussgründe, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen
Begrenzung der Bewerberzahl: 3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn: keine Angabe
Vertragsende: keine Angabe
Dauer: 4 Jahre
Verlängerung: keine Angabe
Optionen: keine Angabe
Rahmenvereinbarung: nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung: Erforderlich
Einreichung über: subreport.de
Sprache: Deutsch
Nebenangebote: Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote: Nicht zulässig
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Bindefrist: keine Angabe
Angebotsöffnung: keine Angabe
Sicherheiten: keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit: keine Angabe
E-Rechnung: Erforderlich
Elektronische Bestellung: wird genutzt
Elektronische Zahlung: wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung: Nein
EU-Mittel: Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge: Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist v … ganz lesenkürzer
Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
Beschaffungsübereinkommen (GPA): fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis: Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen. Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Besc … ganz lesenkürzer
Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen. Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigen zu lassen. Alternativ zu den geforderten Eigenerklärungen akzeptiert der Auftraggeber auch die Vorlage einer – mit den entsprechenden Angaben ausgefüllten – Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE) oder eines Präqualifizierungszertifikates. Für das Angebot sind – soweit vorgesehen – die den Vergabeunterlagen beigefügten Formblätter des Auftraggebers zu verwenden, welche über den in der vorliegenden Bekanntmachung benannten Link gebührenfrei selbst abgerufen werden können. Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: 1. Mit dem Angebot ist nachzuweisen, dass der Bieter oder ein für die Auftragsausführung vorgesehenes Drittunternehmen nicht wegen eines Verstoßes nach § 21 MiLoG mit einer Geldbuße von wenigstens zweitausendfünfhundert Euro belegt worden sind. Hierfür ist eine entsprechende Eigenerklärung abzugeben. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist die Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung einzureichen. 2. Mit dem Angebot ist zudem nachzuweisen, dass im Unternehmen des Bieters Sozialstandards eingehalten werden, die an den Kernarbeitsnormen der International Labour Organization (ILO) orientiert sind. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist eine entsprechende Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung einzureichen. 3. Vor dem Hintergrund eines geltenden Zuschlagsverbotes in Vergabeverfahren für Bieter mit (unmittelbarem oder mittelbarem) Russlandbezug ist mit dem Angebot von jedem Bieter/ Mitglied einer Bietergemeinschaft zudem eine Erklärung abzugeben, dass kein entsprechender Bezug besteht. 4. Für die Auftragsausführung gelten im Übrigen die Besonderen Einkaufsbedingungen des DLR, die den Vergabeunterlagen beigefügt sind.

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Art: Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Bildung
Anschrift: Linder Höhe, 51147 Köln
Website: dlr.de
Kontakt: kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

1.545Bekanntmachungen

757Zuschlagsmeldungen

Betriebshaftpflichtversicherung inklusive Umwelthaftpflicht- und Umweltschadenrisiken für das Deutsche Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (DLR)01.11.2026 · 1 Angebot
PANDORA01.11.2026 · 1 Angebot
DAS Distributed Acoustic Sensing System31.10.2026 · 5 Angebote
Unterstützungsleistung – IT-Migration30.10.2026

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Wer hat das zuletzt gewonnen?

Letzte vergleichbare Vergabe (2024): Plasmaverascher IZHH

Gleiche Vergabestelle und sehr ähnlicher Titel, vergeben am 01.02.2024. Ob es wirklich dieselbe Leistung ist, zeigt die Bekanntmachung.

Mehr von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Kauf oder Miete von bereits fertig erstellten E-Learning-InhaltenDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · 51147 KölnFrist 19.11.2026
Quarzglasscheiben im Projekt KOPERNIKUSDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · 70569 StuttgartFrist 20.11.2026
Quarzglasscheiben im Projekt KOPERNIKUSDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · 51147 KölnFrist 20.11.2026
Erneuerung der zentralen Hydraulikversorgung am Standort BraunschweigDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · KölnFrist 09.12.2026

Alle 20 offenen Ausschreibungen von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR), dazu Zuschläge und Auftragnehmer

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Nordrhein-Westfalen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

350vergebene Aufträge

1Angebote je Los im Median (185 Lose mit Angabe)

240.910 €Zuschlagswert im Median

216.000 € – 445.595 €mittlere Hälfte, 68 Werte

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Nordrhein-Westfalen (31 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Hamilton Germany GmbH5 Zuschläge
Oxford Instruments GmbH5 Zuschläge
attocube systems GmbH4 Zuschläge
CREAVAC GmbH3 Zuschläge
Eppendorf AG3 Zuschläge
Ferrovac AG3 Zuschläge

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

14.07.2024Vergabebekanntmachung
09.02.2024Bekanntmachung (diese Seite)Frist 11.03.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Plasmaverascher IZHH

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Auf einen Blick

Schnellprüfung für Bieter

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