Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR670473-2270-W
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern
Aktenzeichen PR670473-2270-Wveröffentlicht 22.05.2024erstmals 22.05.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Laut Vergabemeldung wurde dieses Verfahren ohne Zuschlag beendet, zum Beispiel aufgehoben. Oft schreibt die Vergabestelle die Leistung neu aus.
Ohne Zuschlag beendet. Das läuft gerade
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Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de
Schnellprüfung für Bieter
- Unterlagen frei zugänglichja
- Elektronische Einreichung verpflichtendnein
- Nebenangebote zugelassennein
- Mehrere Hauptangebote zugelassennein
- Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
- E-Rechnung verpflichtendja
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- Wiederkehrender Auftragnein
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.
- Technische Ausführung50 %
- Lieferzeit15 %
- Preis35 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,2 Punkte |
| 25 % teurer | −7 Punkte |
| 50 % teurer | −11,7 Punkte |
| 100 % teurer | −17,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Erstveröffentlichungvor 30 Monaten
- 1. Berichtigung (diese Fassung)vor 30 Monaten
- Teilnahmeanträge bis 10:00 Uhrvor 28 Monaten
- Heute
Beschreibung
1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool
Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben damit natürlicher Oxidation auszusetzen.
Optionen: 3.15. Ein optisches Emissions-Spektrometer ist optional anzubieten 6.4. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.5. Als Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.9. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum, Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet
Gegenstand nach CPV
- 31712330HalbleiterHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag2 von 2 angegeben
- Qualität
- Technische Ausführung
- Qualität
- Lieferzeit
Eignung6 von 6 angegeben
- Kriterium
- genannt
- Kriterium
- genannt
- Kriterium
- genannt
- Kriterium
- Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18f9c408c95-26c96aefabd87d9e
- Nachreichen von Unterlagen
- Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
- Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, cred-arran, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subvent … ganz lesenkürzer
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, cred-arran, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen, Rein nationale Ausschlussgründe
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben
- Elektronische Einreichung
- Zulässig
- Einreichung über
- vergabe.fraunhofer.de
- Sprache
- Deutsch
- Nebenangebote
- Nicht zulässig
- Mehrere Hauptangebote
- Nicht zulässig
- Elektronischer Katalog
- Nicht zulässig
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung5 von 6 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- Erforderlich
- Elektronische Bestellung
- wird nicht genutzt
- Elektronische Zahlung
- wird nicht genutzt
- Vorbehaltene Ausführung
- Nein
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz3 von 3 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
- Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenkürzer
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
Bei uns erfasst
- Bereitstellung und Betrieb eines dedizierten NVIDIA-DGX-H100-Systems06.11.2026
- Lizenzverlängerung Atlassian-Software27.10.2026
- Ausschreibung Gebäudereinigung - Fraunhofer Institut (IMS)23.10.2026 · 9 Angebote
- Batteriezellenentsorgung24.09.2026 · 1 Angebot
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- ITC3 Zuschläge
- Veeco GmbH3 Zuschläge
- Applied Materials GmbH2 Zuschläge
- Besi Singapore Pte. Ltd.2 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens3 Meldungen
- Vergabebekanntmachung
- BekanntmachungFrist 24.06.2024
- 1. Berichtigung (diese Seite) · Korrektur – VeröffentlichungFrist 24.06.2024
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 53a4d055-77e7-4578-be55-7826b49dce2c.