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ohne Zuschlag beendetEU-weitLieferleistungen

Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR670473-2270-W

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern

Aktenzeichen PR670473-2270-Wveröffentlicht 01.10.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Frist im Verfahrenseit 867 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Laut Vergabemeldung wurde dieses Verfahren ohne Zuschlag beendet, zum Beispiel aufgehoben. Oft schreibt die Vergabestelle die Leistung neu aus.

Ohne Zuschlag beendet. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Technische Ausführung50 %
  • Lieferzeit15 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 25 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool

Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben damit natürlicher Oxidation auszusetzen.

Optionen: 3.15. Ein optisches Emissions-Spektrometer ist optional anzubieten 6.4. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.5. Als Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.9. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum, Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Technische Ausführung50 %
Lieferzeit15 %
Preis35 %
Qualität
Technische Ausführung
Qualität
Lieferzeit

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
kein Zuschlag angegeben1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

81vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (89 Lose mit Angabe)
305.451 €Zuschlagswert im Median
228.001 € – 499.987 €mittlere Hälfte, 13 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens3 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 24.06.2024
  3. 1. Berichtigung · Korrektur – VeröffentlichungFrist 24.06.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 0fd16f02-ca23-44a7-bbf3-56bc4404d0c6.