Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR670473-2270-W
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern
Aktenzeichen PR670473-2270-Wveröffentlicht 01.10.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Laut Vergabemeldung wurde dieses Verfahren ohne Zuschlag beendet, zum Beispiel aufgehoben. Oft schreibt die Vergabestelle die Leistung neu aus.
Ohne Zuschlag beendet. Das läuft gerade
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Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.
- Technische Ausführung50 %
- Lieferzeit15 %
- Preis35 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,2 Punkte |
| 25 % teurer | −7 Punkte |
| 50 % teurer | −11,7 Punkte |
| 100 % teurer | −17,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Veröffentlichungvor 25 Monaten
- Heute
Beschreibung
1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool
Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben damit natürlicher Oxidation auszusetzen.
Optionen: 3.15. Ein optisches Emissions-Spektrometer ist optional anzubieten 6.4. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.5. Als Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.9. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum, Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet
Gegenstand nach CPV
- 31712330HalbleiterHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag2 von 2 angegeben
- Qualität
- Technische Ausführung
- Qualität
- Lieferzeit
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| kein Zuschlag angegeben | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
Bei uns erfasst
- Bereitstellung und Betrieb eines dedizierten NVIDIA-DGX-H100-Systems06.11.2026
- Lizenzverlängerung Atlassian-Software27.10.2026
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Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
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Häufige Zuschlagsempfänger
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- ITC3 Zuschläge
- Veeco GmbH3 Zuschläge
- Applied Materials GmbH2 Zuschläge
- Besi Singapore Pte. Ltd.2 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens3 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- BekanntmachungFrist 24.06.2024
- 1. Berichtigung · Korrektur – VeröffentlichungFrist 24.06.2024
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 0fd16f02-ca23-44a7-bbf3-56bc4404d0c6.