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Maskless Aligner

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena, Thüringen

Aktenzeichen 04.24.O.00veröffentlicht 12.03.2024LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 933 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Jena.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Thüringen (2 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
457 Tsd. €
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Jena07745, Thüringen
Einreichung
elektronisch: Erforderlichdtvp.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 62 Tage (13 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (13 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 60 %, Leistung und Qualität 40 %.

  • Preis60 %
  • technische Spezifikationen40 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 10 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−5,5 Punkte
25 % teurer−12 Punkte
50 % teurer−20 Punkte
100 % teurer−30 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 06.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 32 Monaten
  2. Fragen bis 00:00 Uhr
    an Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
    vor 31 Monaten
  3. Angebotsfrist 13:00 Uhr
    nur elektronisch über dtvp.de
    vor 31 Monaten
  4. Öffnung der Angebote 13:10 Uhr
    vor 31 Monaten
  5. Heute

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Preis60 %
technische Spezifikationen40 %
Qualität
technische Spezifikationen

Eignung3 von 3 angegeben

Kriterium
genannt
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist teilweise ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, cred-arran, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subvent … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, bankruptcy, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, cred-arran, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
dtvp.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
40 DAYS
Angebotsöffnung
16.04.2024, 13:10 Uhr
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: - Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Thüringen, 99423 Weimar
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben

Hinweis
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 457.300,00 Euro netto zur Verfügung.
Hinweis
Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRH0VK

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Anschrift
07745 Jena
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

82Bekanntmachungen
27Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

130vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (41 Lose mit Angabe)
201.069 €Zuschlagswert im Median
98.085 € – 365.438 €mittlere Hälfte, 78 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 16.04.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung f3e7994f-87ee-4007-ba65-edb4ee31753c.