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ALD-Anlage

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena, Thüringen

Aktenzeichen 01.26.O.00veröffentlicht 22.09.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 63 Tagen abgelaufen

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Jena.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Thüringen (2 offen)

Geplant · Neuausschreibung möglich

Vertrag endet voraussichtlich am – Neuausschreibung möglich

in 10 Monaten · Ende steht in der Bekanntmachung

Endet ein Vertrag, schreibt die Vergabestelle die Leistung oft neu aus. Merken Sie den Vertrag vor: Wir erinnern Sie per E-Mail vor dem Vertragsende und melden, wenn dieselbe Vergabestelle eine ähnliche Leistung ausschreibt.

Vormerkenmit kostenlosem Konto

Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
461 Tsd. €
Laufzeit
1 Jahr28.08.2026 – 05.09.2027
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Jena07745, Thüringen
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 65 Tage (5 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (8 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 30 %, Leistung und Qualität 70 %.

  • technische Spezifikationen70 %
  • Preis30 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−2,7 Punkte
25 % teurer−6 Punkte
50 % teurer−10 Punkte
100 % teurer−15 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 04.11.2026

  1. Vertragsbeginn
    Laufzeit bis 05.09.2027
    vor 2 Monaten
  2. Veröffentlichung
    vor 43 Tagen
  3. Heute

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

technische Spezifikationen70 %
Preis30 %
Qualität
technische Spezifikationen

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
28.08.2026
Vertragsende
05.09.2027
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Thüringen, 99423 Weimar
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben

Hinweis
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.
Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRMV0A#

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH, Krailling5

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Anschrift
07745 Jena
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

44vergebene Aufträge
2Angebote je Los im Median (18 Lose mit Angabe)
198.000 €Zuschlagswert im Median
114.000 € – 338.950 €mittlere Hälfte, 33 Werte

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Thüringen (2 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens4 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. 2. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 25.08.2026 auf 01.09.2026 verschoben
  3. 1. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 11.08.2026 auf 25.08.2026 verschoben
  4. BekanntmachungFrist 11.08.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Ähnliche offene Ausschreibungen

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d.