Laserscanningmikroskop

Beschaffung eines 3D-Lasercanningmikroskops mit einem Vergrößerungsbereich von 42x bis 28880x. Das Mikroskop verfügt über diverse Standardobjektive (motorisierter Revolver mit 5x 10x 20x 50x), einem 10x Interferenz-Objektiv sowie einem hochauflösenden 150x Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,95. Das spezialisierte 3D-Laserscanningmikroksop verfügt über komplementäre Messprinzipien, bestehend aus I.) Konfokalem Laser, II.) Fokusvariation III.) Weißlichtinterferometrie und erreicht eine maximale Auflösung von 0,01 nm in z-Richtung und 0,1 nm x-y Auflösung durch ein im System integriertes Weißlichtinterferometer. Die komplementären Messprinzipien (Triple Principle Integrated) erlauben Analysen sowohl im Nanometer-, Mikrometer- und Millimeterbereich in nur einem System ohne aufwendige Umbauten. Das Laserscanningmikroskop verfügt neben der 3D-Messfähigkeit über Messmethoden eines vollwertigen Lichtmikroskops (Hell-, Dunkelfeld-, Mix-Beleuchtung und Segmente des Ringlichts steuerbar). Durch komplementäre Ringbeleuchtung, Koaxialbeleuchtung und Mix-Beleuchtung werden optimale Beleuchtungsszenarien ohne zusätzliches Equipment garantiert. Eine laserinduzierte Plasmaspektroskopieeinheit kann in dem Gerät modular nachgerüstet werden (keine zusätzliche Einheit außerhalb des Mikroskops erforderlich). Die Option der modularen Nachrüstung ist zwingend erforderlich für zukünftige Materialanalysen unter Umgebungsbedingungen. Eine Auflösung von bis zu 0,01 nm ist erforderlich, um 3D-gedruckte Nanostrukturen, abgeschiedene Dünnschichten, sowie mittels 2,5D Graustufen- und Elektronenstrahllithographie hergestellte nano-/mikroskopische Profile bzgl. Oberflächenrauigkeiten (im Nanometerbereich), Abmessungen/Kantensteilheiten- und Profile (Mikrometer- bis Millimeterbereich) auf Substraten bis zu 200 mm Durchmesser in nur einem System ohne Umbauten zu analysieren. Weiterhin werden mit diesem System Strukturierungs- und Abbildungsqualitäten und Ergebnisse konventioneller UV-Lithographiesysteme, einer Nanoimprintlithographie sowie Ätzprofile (sowohl Nass- als auch Trockenätzprozesse) von Materialien in genannten Reinraum schnell und flexibel ohne den Einsatz einer aufwendigen Rastelektronenmikroskopie mit vergleichbarer Auflösung überprüft. Das VK-X3000 umfasst einen violetten Laser, einen 16-Bit Photomultiplier, einen 5,6 MP CMOS Bildsensor, eine Betrachtungs-/Analyse- und Bildzusammensetzungssoftware, einen PC inkl. Monitor und Stromversorgung, einen Winkeltisch und einen motorisierten Objekttisch. Die Keyence Deutschland GmbH bietet als einziger Hersteller eine KI-gestützte Bedienungssoftware mit einer unbegrenzten Anzahl an Standortlizenzen sowie eine unbegrenzte Anzahl an Schulungen vor Ort.