Laser-Lithographie-System
Friedrich-Schiller-Universität Jena · Jena, Thüringen
Aktenzeichen EU-OV/2025-10veröffentlicht 28.04.2025LieferleistungenOffenes Verfahren
- Verfahren
- Offenes Verfahren
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertja
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 71 Tage (77 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 5 Angebote je Los (9 Lose mit Angabe).
Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 04.11.2026
- Veröffentlichungvor 18 Monaten
- Heute
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in Anlage 2 beschriebenen technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss.
Gegenstand nach CPV
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- (2) weitere Kriterien gemäß Anlage 2 (B-Kriterien) /max. 42 % (42 Wertungspunkte): o Stitching-Test, mittlere Strukturgröße: Bewertung sphärische Form: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre > 4,0 µm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 4,0 µm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 2,0 µm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 0,8 µm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Stitching-Test, kleine Strukturgröße: Bewertung Formtreue/Welligkeit: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung Linearität > 100 nm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 100 nm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 50 nm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 25 nm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Automatischer Alignment-Test und Dosiertest: Bewertung Absoluter Versatz: 0 Punkte (Ausschluss): Absoluter Versatz > 1,5 µm 2 Punkte: Absoluter Versatz < 1,5 µm 4 Punkte: Absoluter Versatz < 1,0 µm 6 Punkte: Absoluter Versatz < 0,8 µm Bewertung Kantenrauigkeit: 0 Punkte (Ausschluss): Kantenrauigkeit > 1000 nm 2 Punkte: Kantenrauigkeit < 1000 nm 4 Punkte: Kantenrauigkeit < 800 nm 6 Punkte: Kantenrauigkeit < 400 nm Bewertung Positionsabstand Kreuzmarken 125,0 mm: 0 Punkte (Ausschluss): Abweichung >500 µm 2 Punkte: Abweichung < 500 µm 4 Punkte: Abweichung < 250 µm 6 Punkte: Abweichung < 50 µm
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz3 von 3 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer, 99423 Weimar
- Fristen für Nachprüfungsanträge
siehe Anlage 1 der Vergabeunterlagen: 6.4 Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen be-stimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage … ganz lesenkürzer
siehe Anlage 1 der Vergabeunterlagen: 6.4 Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen be-stimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsab-schluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zu-schlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist. Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an: Friedrich-Schiller-Universität Jena Abteilung Einkauf 07743 Jena Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an: vergabestelle@uni-jena.de Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen. 6.4.1 Rügen Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabever-fahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschrei-bens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann. 6.4.2 Stelle für Nachprüfungsverfahren Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt Jorge-Semprún-Platz 4 99423 Weimar Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Nanoscribe GmbH & Co. KG, Eggenstein-Leopoldshafen | – |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- 07743 Jena
- Kontakt
- vergabestelle@
uni-jena.de
Bei uns erfasst
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Alle 4 offenen Ausschreibungen von Friedrich-Schiller-Universität Jena, dazu Zuschläge und Auftragnehmer
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Thüringen (2 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- Agilent Technologies Deutschland GmbH3 Zuschläge
- Analytik Jena GmbH+Co. KG3 Zuschläge
- Anton Paar Germany GmbH3 Zuschläge
- TOPAG Lasertechnik GmbH3 Zuschläge
- Active Fiber Systems GmbH2 Zuschläge
- InfraTec GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens3 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- BekanntmachungFrist 25.02.2025
- 1. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 25.02.2025 auf 07.03.2025 verschoben
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung b2d305d3-24be-4132-ac53-6fe0d4967cba.