Zum Inhalt
Menü

Laser-Lithographie-System

Friedrich-Schiller-Universität Jena · Jena, Thüringen

Aktenzeichen EU-OV/2025-10veröffentlicht 28.04.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 607 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Jena07743, Thüringen
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 71 Tage (77 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 5 Angebote je Los (9 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 04.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 18 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in Anlage 2 beschriebenen technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss.

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Qualität
(2) weitere Kriterien gemäß Anlage 2 (B-Kriterien) /max. 42 % (42 Wertungspunkte): o Stitching-Test, mittlere Strukturgröße: Bewertung sphärische Form: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre > 4,0 µm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 4,0 µm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 2,0 µm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 0,8 µm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Stitching-Test, kleine Strukturgröße: Bewertung Formtreue/Welligkeit: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung Linearität > 100 nm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 100 nm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 50 nm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 25 nm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Automatischer Alignment-Test und Dosiertest: Bewertung Absoluter Versatz: 0 Punkte (Ausschluss): Absoluter Versatz > 1,5 µm 2 Punkte: Absoluter Versatz < 1,5 µm 4 Punkte: Absoluter Versatz < 1,0 µm 6 Punkte: Absoluter Versatz < 0,8 µm Bewertung Kantenrauigkeit: 0 Punkte (Ausschluss): Kantenrauigkeit > 1000 nm 2 Punkte: Kantenrauigkeit < 1000 nm 4 Punkte: Kantenrauigkeit < 800 nm 6 Punkte: Kantenrauigkeit < 400 nm Bewertung Positionsabstand Kreuzmarken 125,0 mm: 0 Punkte (Ausschluss): Abweichung >500 µm 2 Punkte: Abweichung < 500 µm 4 Punkte: Abweichung < 250 µm 6 Punkte: Abweichung < 50 µm

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer, 99423 Weimar
Fristen für Nachprüfungsanträge
siehe Anlage 1 der Vergabeunterlagen: 6.4 Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen be-stimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage … ganz lesensiehe Anlage 1 der Vergabeunterlagen: 6.4 Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen be-stimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsab-schluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zu-schlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist. Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an: Friedrich-Schiller-Universität Jena Abteilung Einkauf 07743 Jena Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an: vergabestelle@uni-jena.de Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen. 6.4.1 Rügen Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabever-fahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschrei-bens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann. 6.4.2 Stelle für Nachprüfungsverfahren Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt Jorge-Semprún-Platz 4 99423 Weimar Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
Nanoscribe GmbH & Co. KG, Eggenstein-Leopoldshafen–

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Mehr von Friedrich-Schiller-Universität Jena

Alle 4 offenen Ausschreibungen von Friedrich-Schiller-Universität Jena, dazu Zuschläge und Auftragnehmer

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

127vergebene Aufträge
2Angebote je Los im Median (36 Lose mit Angabe)
204.800 €Zuschlagswert im Median
106.028 € – 372.188 €mittlere Hälfte, 75 Werte

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Thüringen (2 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens3 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 25.02.2025
  3. 1. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 25.02.2025 auf 07.03.2025 verschoben

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Ähnliche offene Ausschreibungen

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung b2d305d3-24be-4132-ac53-6fe0d4967cba.