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Laser-Lithographie-System

Friedrich-Schiller-Universität Jena · Jena, Thüringen

Aktenzeichen EU-OV/2025-10veröffentlicht 23.01.2025erstmals 23.01.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 607 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Jena07743, Thüringen
Einreichung
elektronisch: Erforderlichevergabe-online.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 71 Tage (77 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 5 Angebote je Los (9 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 04.11.2026

  1. Erstveröffentlichung
    vor 21 Monaten
  2. 1. Berichtigung (diese Fassung)
    vor 21 Monaten
  3. Angebotsfrist 10:00 Uhr
    nur elektronisch über evergabe-online.de
    vor 20 Monaten
  4. Öffnung der Angebote 10:05 Uhr
    vor 20 Monaten
  5. Bindefrist endet
    3 Monate ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 17 Monaten
  6. Heute

Beschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in Anlage 2 beschriebenen technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss.

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Qualität
(2) weitere Kriterien gemäß Anlage 2 (B-Kriterien) /max. 42 % (42 Wertungspunkte): o Stitching-Test, mittlere Strukturgröße: Bewertung sphärische Form: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre > 4,0 µm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 4,0 µm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 2,0 µm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 0,8 µm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Stitching-Test, kleine Strukturgröße: Bewertung Formtreue/Welligkeit: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung Linearität > 100 nm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 100 nm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 50 nm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 25 nm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Automatischer Alignment-Test und Dosiertest: Bewertung Absoluter Versatz: 0 Punkte (Ausschluss): Absoluter Versatz > 1,5 µm 2 Punkte: Absoluter Versatz < 1,5 µm 4 Punkte: Absoluter Versatz < 1,0 µm 6 Punkte: Absoluter Versatz < 0,8 µm Bewertung Kantenrauigkeit: 0 Punkte (Ausschluss): Kantenrauigkeit > 1000 nm 2 Punkte: Kantenrauigkeit < 1000 nm 4 Punkte: Kantenrauigkeit < 800 nm 6 Punkte: Kantenrauigkeit < 400 nm Bewertung Positionsabstand Kreuzmarken 125,0 mm: 0 Punkte (Ausschluss): Abweichung >500 µm 2 Punkte: Abweichung < 500 µm 4 Punkte: Abweichung < 250 µm 6 Punkte: Abweichung < 50 µm

Eignung5 von 5 angegeben

Kriterium
• Unternehmensdarstellung o Allgemeine Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auf-traggeber betreuen würde) o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäf … ganz lesen• Unternehmensdarstellung o Allgemeine Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auf-traggeber betreuen würde) o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc. • Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
Kriterium
#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches. Mindestanforderung: Der Auftraggeber sieht nur Bieter als fachlich geeignet an, die im Mittel der letzten 3 Geschä … ganz lesen#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches. Mindestanforderung: Der Auftraggeber sieht nur Bieter als fachlich geeignet an, die im Mittel der letzten 3 Geschäftsjahre jährlich mindestens 1.500.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben. #Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen. Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr) pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 €, Sach- und Umweltschäden 500.000 €, Vermögensschäden 100.000 €. Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen.
Kriterium
#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender … ganz lesen#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender Leistung inhaltlich und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2) mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der Eignungsprüfung berücksichtigt werden. Die Referenzen müssen mindestens die folgenden Angaben enthalten: Name des Unternehmens (Referenzgeber) Ansprechpartner beim Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail) Art der ausgeführten Leistung Ausführungszeitraum / Vertragslaufzeit Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung8 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
evergabe-online.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
3 Monate
Angebotsöffnung
07.03.2025, 10:05 Uhr
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer, 99423 Weimar
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

127vergebene Aufträge
2Angebote je Los im Median (36 Lose mit Angabe)
204.800 €Zuschlagswert im Median
106.028 € – 372.188 €mittlere Hälfte, 75 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens3 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. BekanntmachungFrist 25.02.2025
  3. 1. Berichtigung (diese Seite) · Aktualisierte InformationenFrist von 25.02.2025 auf 07.03.2025 verschoben

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 2fa4790c-6b9b-44cd-883f-076e617f047a.