Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 3: Weitfeldmikroskop, Teillos 2: Probenpositioniersystem

Fachlos 3: Weitfeldmikroskop (CPV 38518100-0) Teillos 3.2: Probenpositioniersystem Zur Positionierung von Messbereichen relativ zu optischen Baugruppen wird ein hochdynamisches und hochpräzises Mehrachspositioniersystem benötig. Das zu liefernde System muss aus zwei, übereinander gestapelten Lineartischen mit magnetischem Direktantrieb und Kabelmanagementsystem (z.B. via Schleppketten) als X-Y-System und einer darauf montierten, kompakten Dreh/Kipp-Stage (Gimbal) mit Direktantrieb sowie zwei baugleichen Lineartischen mit Schrittmotorantrieb und Haltebremse als Vertikalachsen (Z-Achse) bestehen. Alle 6 Achsen müssen durch einen gemeinsamen Controller betrieben und angesteuert werden, welcher in einem 19" Rack montiert werden kann. Das X-Y-/Gimbal-System inkl. Kabelmanagementsystem muss vormontiert geliefert werden. Das Gimbal-System muss ein montier/demontierbares Sub-System sein, dass auf dem X-Y-System geeignet verschraubt ist. Alle notwenigen Anschlussleitungen (z.B. Senorik, elektrische Versorgung) müssen durch lösbare Steckverbindungen realisiert sein, so dass das Gimbal-Sub-System entfernt und das Achssystem als x-y-z/z System benutzt werden kann. Die Oberfläche der Drehachse muss über Gewindebohrungen zur Halterung von Probenhalterungen (nicht Gegenstand des Loses) verfügen. Die Gesamthöhe des X-Y-/Gimbal-Systems (Unterkante Y-Achse bis Oberkante Gimbal bei Neigung 0°) darf 450 mm nicht überschreiten. Die Montagepunkte der Achsen müssen die Montage in einem metrischen Raster ermöglichen. Beide Vertikaltische, sowie der obere Lineartisch des X-Y-Systems müssen über eine Montageplattform mit M6-Montagepunkten verfügen. Alle notwendigen Zuleitungen (Kabel für Sensor- und Antriebskabel o.ä.) müssen eine Länge von 6 m haben. Der Controller/Software muss die synchrone, großflächige Laserbestrahlung mit einem kompatiblen Scanlab-Laserscankopf nebst zugehöriger Ansteuerkarte (RTC6) und Software ermöglichen. Ferner müssen Programmierbibliotheken und eine Software zur Einrichtung und Steuerung der Achsen zur Verfügung gestellt werden. Das zu liefernde System muss die nachfolgend aufgeführten Spezifikationen erfüllen: 1. Lineartisch 1(Y-Richtung) Antrieb: magnetischer Direktantrieb Nomineller Stellweg: mind. 80 mm bis max. 1000 mm Maximale Gesamtlänge inkl. Kabelmanagement: 1350 mm Maximale Zulässige Druckkraft in Z: 800 N oder größer Positioniergenauigkeit (kalibriert): +/- 1 µm oder besser Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (peak-to-peak): +/- 0,5 µm µm oder besser Maximale Geschwindigkeit, unbelastet: mind. 1000 mm/s oder schneller 2. Lineartisch 2(X-Richtung) Antrieb: magnetischer Direktantrieb Nomineller Stellweg: 500 mm Maximale Gesamtlänge inkl. Kabelmanagement: 900 mm Maximale Zulässige Druckkraft in Z: 800 N Positioniergenauigkeit (kalibriert): +/- 1 µm oder besser Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (peak-to-peak): +/- 0,5 µm µm oder besser Maximale Geschwindigkeit, unbelastet: mind. 1000 mm/s oder schneller 3. Dreh/Kipp-Stage (Gimbal) 3.a Dreh-Achse: Führung: Kreuzrollenlager Exzentrizität: +/- 5 µm oder besser Wobbel: +/- 25 µrad oder besser Drehwinkel: mind. +- 360° Positioniergenauigkeit (kalibriert): +/- 25 µrad oder besser Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (peak-to-peak): +/- 10 µrad oder besser Maximale Geschwindigkeit, unbelastet: mind. 1000 grad/s oder schneller 3.b Kipp-Achse: Führung: Kreuzrollenlager Exzentrizität: +/- 5 µm oder besser Wobbel: +/- 25 µrad oder besser Drehwinkel: mind. +- 120° Positioniergenauigkeit (kalibriert): +/- 25 µrad oder besser Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (peak-to-peak): +/- 10 µrad oder besser Maximale Geschwindigkeit, unbelastet: mind. 1000 grad/s oder schneller 4. Lineartisch 3 und 4 (Z-Richtung) Nomineller Stellweg: 200 mm bis 204 mm (8") Maximale Gesamtlänge inkl. Kabelmanagement, sofern nötig: 625 mm Maximale Höhe inkl. Montageplattform: 80 mm Positioniergenauigkeit (kalibriert): +/- 5 µm oder besser Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (peak-to-peak): +/- 1 µm oder besser Maximale Geschwindigkeit, unbelastet: 100 mm/s oder schneller Maximale vertikale Belastung: 20 kg oder größer