Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 45 %, Leistung und Qualität 55 %.

Technische Ausführung40 %
Nachhaltigkeit: Energieverbrauch (standby)15 %
Preis45 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Was kostet ein höherer Preis an Punkten?

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 7,5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer	−4,1 Punkte
25 % teurer	−9 Punkte
50 % teurer	−15 Punkte
100 % teurer	−22,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

12.05.2025
Veröffentlichung
vor 18 Monaten
12.06.2025
Teilnahmeanträge bis 10:30 Uhr
vor 17 Monaten
07.11.2026
Heute

Beschreibung

Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3)

Beschreibung des Loses

1 piece Inline AFM

Complete Atomic Force Microscope system for up to 300 mm wafer metrology, consisting of decoupled XY & Z AFM scanners using flexure guided scan system for all three axes: The tool to be purchased for the 300mm cleanroom should be able to be used within the semiconductor production line for rapid characterization of wafers. The focus here is on the parameters of roughness, structure height, widths (critical dimension) and sidewall angles. It should also be possible to carry out a defect review in order to determine their morphological properties. The system must function fully automatically and also be able to record electrical parameters (e.g. capacities from fF ranges to several hundred pF). The handling system and all parts in contact with the wafer must meet the defined contamination levels in order to be able to process the wafers further.

optional service items: 2.2.15 Warranty extension Please offer an extension of the warranty of further 12 months. During the warranty period all support, repair and parts cost are covered and free of charge. please confirm, yes/no 2.2.29 General Equipment Requirements The AFM must be able to handle smaller probes manually for measurement (e.g. 200mm wafer, pieces of wafer). There has to be an access to the stage area to place the probe manually. A measurement has to be possible by using tool software. No automated handling needs to be done. please specify - yes/no 2.4.7 Cassette and wafer specifications Wafer thickness 650 µm - 1500 µm - yes/no 2.7.2 Wafer Handling/Transfer/Loadlock There are no interferences between handling system and substrate except of outer ring of 10mm.This could be realized by using full edge grip or similar (incl. handling, prealigner, chuck vacuum, ...) or as switchable configuration by recipe or easy (intuitive) switch by operator. please specify and confirm - yes/no 2.7.4 Wafer Handling/Transfer/Loadlock equipment has a video monitoring system device for system operation monitoring please specify and confirm - yes/no 2.12.16 sustainability provides modi for power reduction during standby time please specify - yes/no 2.12.17 sustainability provides power measurement system for tracking of power consumption please specify - yes/no 2.12.18 sustainability Confirmation and submission of the provider's certification in accordance with the sustainability standard ISO 14001 - Environmental Management System please specify - yes/no

Gegenstand nach CPV

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere ZweckeHauptgegenstand

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Technische Ausführung40 %

Nachhaltigkeit: Energieverbrauch (standby)15 %

Preis45 %

Qualität: Technische Ausführung
Qualität: Nachhaltigkeit: Energieverbrauch (standby)

Eignung4 von 4 angegeben

Finanzkennzahlen: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Alle weiteren Eignungskriterien entnehmen Sie bitte dem Direktlink.
Nachreichen von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenkürzer
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen, Rein nationale Ausschlussgründe
Begrenzung der Bewerberzahl: 3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn: keine Angabe
Vertragsende: keine Angabe
Dauer: 23 Monate
Verlängerung: keine Angabe
Optionen: keine Angabe
Rahmenvereinbarung: nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung: Zulässig
Einreichung über: vergabe.fraunhofer.de
Sprache: Deutsch, Englisch
Nebenangebote: Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote: Zulässig
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Bindefrist: keine Angabe
Angebotsöffnung: keine Angabe
Sicherheiten: keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen: Leistung: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Vertraulichkeit: keine Angabe
E-Rechnung: Zulässig
Elektronische Bestellung: wird genutzt
Elektronische Zahlung: wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung: Nein
EU-Mittel: Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle: Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenkürzer
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA): fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis: Gewünschter Liefertermin: April 2026

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Art: Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift: Hansastraße 27c, 80686 München
Website: vergabe.fraunhofer.de
Kontakt: einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

889Bekanntmachungen

247Zuschlagsmeldungen

Bereitstellung und Betrieb eines dedizierten NVIDIA-DGX-H100-Systems06.11.2026
Lizenzverlängerung Atlassian-Software27.10.2026
Ausschreibung Gebäudereinigung - Fraunhofer Institut (IMS)23.10.2026 · 9 Angebote
Batteriezellenentsorgung24.09.2026 · 1 Angebot

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge

1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)

–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH4 Zuschläge
SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG4 Zuschläge
Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.3 Zuschläge
AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH3 Zuschläge
EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
AP und S International GmbH2 Zuschläge

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

08.12.2025Vergabebekanntmachung
12.05.2025Bekanntmachung (diese Seite)Frist 12.06.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3) - PR908005-2480-P

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Auf einen Blick

Schnellprüfung für Bieter

Einordnungvon uns ausgewertet