Deposition Tool 8 Inch
Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM · Garching, Bayern
Aktenzeichen TUM-E23-2026-01veröffentlicht 21.08.2026Lieferleistungen · Offenes Verfahren
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Ort der Leistung
- Garching85478, Bayern
- Einreichung
- elektronisch: Erforderlichdtvp.de
Schnellprüfung für Bieter
- Unterlagen frei zugänglichja
- Elektronische Einreichung verpflichtendja
- Nebenangebote zugelassenja
- Mehrere Hauptangebote zugelassennein
- Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
- Sicherheiten verlangtnein
- Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
- E-Rechnung verpflichtendja
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.
Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 03.11.2026
- Veröffentlichungvor 2 Monaten
- Fragen bis 23:59 Uhrvor 36 Tagenan Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Angebotsfrist 12:00 Uhrvor 29 Tagennur elektronisch über dtvp.de
- Öffnung der Angebote 12:01 Uhrvor 29 Tagen
- Bindefrist endetvor 1 Tag4 Wochen ab Angebotsfrist, von uns berechnet
- Heute
Beschreibung
The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- Siehe Vergabeunterlagen
Eignung2 von 3 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist teilweise ausgeschlossen.
- Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung … ganz lesenkürzer
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben
- Elektronische Einreichung
- Erforderlich
- Einreichung über
- dtvp.de
- Sprache
- Deutsch, Englisch
- Nebenangebote
- Zulässig
- Mehrere Hauptangebote
- Nicht zulässig
- Elektronischer Katalog
- Erforderlich
- Bindefrist
- 4 Wochen
- Angebotsöffnung
- 05.10.2026, 12:01 Uhr
- Sicherheiten
- nicht verlangt
Ausführung6 von 7 angegeben
- Ausführungsbedingungen
- Leistung: siehe Vergabeunterlagen.
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- Erforderlich
- Elektronische Bestellung
- wird nicht genutzt
- Elektronische Zahlung
- wird nicht genutzt
- Vorbehaltene Ausführung
- Nein
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern, Maximilianstraße 39, 80538 München
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben
- Hinweis
- #Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ8M7XK#
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
AuftraggeberAlle Verfahren dieses Auftraggebers
- Name
- Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Art
- Anstalten des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
- Anschrift
- Walther-Meißner-Str. 8, 85478 Garching
- Website
- wmi.badw.de
- Kontakt
- sekretariat@
wmi.badw.de
Bei uns erfasst
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Preise und WettbewerbPremium
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88d.