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vergebenEU-weitLieferleistungen

Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage

Ludwig-Maximilians-Universität München · München, Bayern

Aktenzeichen MQV-Plasmaveröffentlicht 29.08.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 404 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungdeutsche-evergabe.de

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
700 Tsd. €
Laufzeit
12 Monate
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80539, Bayern
Einreichung
elektronisch: Erforderlichdeutsche-evergabe.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 70 Tage (3 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (5 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 14 Monaten
  2. Angebotsfrist 12:00 Uhr
    nur elektronisch über deutsche-evergabe.de
    vor 13 Monaten
  3. Öffnung der Angebote 12:00 Uhr
    vor 13 Monaten
  4. Bindefrist endet
    39 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 12 Monaten
  5. Heute

Beschreibung

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung

Beschreibung des Loses

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Beschreibung
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Eignung4 von 4 angegeben

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).
Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards
Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Betrug oder Subventionsbetrug, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpf … ganz lesenBestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Betrug oder Subventionsbetrug, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Schwere Verfehlung, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Rein nationale Ausschlussgründe, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
12 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 10 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
deutsche-evergabe.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronische Signatur
nicht verlangt
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
39 Tage
Angebotsöffnung
29.09.2025, 12:00 Uhr
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern, Maximilianstr. 39, 80539 München
Fristen für Nachprüfungsanträge
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmach … ganz lesen(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Ludwig-Maximilians-Universität München
Art
Öffentliches Unternehmen, Bildung
Anschrift
Geschwister-Scholl-Platz 1, 80539 München
Website
deutsche-evergabe.de
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

25Bekanntmachungen
11Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 316 (Elektrische Ausrüstung) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

38vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (21 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 7 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 29.09.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4.