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vergebenEU-weitLieferleistungen

Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage

Ludwig-Maximilians-Universität München · München, Bayern

Aktenzeichen MQV-Plasmaveröffentlicht 03.10.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 404 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80539, Bayern
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 70 Tage (3 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (5 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 100 %, Leistung und Qualität 0 %.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 13 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung

Beschreibung des Loses

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Preis
Rangfolge 1

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern, Maximilianstr. 39, 80539 München
Fristen für Nachprüfungsanträge
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmach … ganz lesen(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH, Krailing1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Ludwig-Maximilians-Universität München
Art
Öffentliches Unternehmen, Bildung
Anschrift
Geschwister-Scholl-Platz 1, 80539 München
Website
deutsche-evergabe.de
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

25Bekanntmachungen
11Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 316 (Elektrische Ausrüstung) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

38vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (21 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 7 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 29.09.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 9835b136-2dee-42ba-b8bd-d8ab63b3aa08.