ALD-Anlage
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena, Thüringen
Aktenzeichen 01.26.O.00veröffentlicht 09.08.2026erstmals 07.07.2026Lieferleistungen · Offenes Verfahren
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- 461 Tsd. €
- Laufzeit
- 1 Jahr28.08.2026 – 05.09.2027
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Ort der Leistung
- Jena07745, Thüringen
- Einreichung
- elektronisch: Erforderlichdtvp.de
Schnellprüfung für Bieter
- Unterlagen frei zugänglichja
- Elektronische Einreichung verpflichtendja
- Nebenangebote zugelassennein
- Mehrere Hauptangebote zugelassennein
- Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
- Sicherheiten verlangtja
- Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
- E-Rechnung verpflichtendja
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertja
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 30 %, Leistung und Qualität 70 %.
- technische Spezifikationen70 %
- Preis30 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −2,7 Punkte |
| 25 % teurer | −6 Punkte |
| 50 % teurer | −10 Punkte |
| 100 % teurer | −15 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 03.11.2026
- Erstveröffentlichungvor 4 Monaten
- 1. Berichtigung (diese Fassung)vor 3 Monaten
- Fragen bis 23:59 Uhrvor 3 Monatenan Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Angebotsfrist 13:00 Uhrvor 2 Monatennur elektronisch über dtvp.de
- Öffnung der Angebote 13:10 Uhrvor 2 Monaten
- Vertragsbeginnvor 2 MonatenLaufzeit bis 05.09.2027
- Bindefrist endetvor 30 Tagen40 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
- Heute
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Gegenstand nach CPV
- 38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)Hauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- technische Spezifikationen
Eignung4 von 4 angegeben
- Durchschnittlicher Jahresumsatz
- s. Eigenerklärung
- Referenzen zu bestimmten Lieferungen
- Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.
- Nachreichen von Unterlagen
- Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist teilweise ausgeschlossen.
- Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Vers … ganz lesenkürzer
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens
Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- 28.08.2026
- Vertragsende
- 05.09.2027
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben
- Elektronische Einreichung
- Erforderlich
- Einreichung über
- dtvp.de
- Sprache
- Deutsch
- Nebenangebote
- Nicht zulässig
- Mehrere Hauptangebote
- Nicht zulässig
- Elektronischer Katalog
- Nicht zulässig
- Bindefrist
- 40 Tage
- Angebotsöffnung
- 25.08.2026, 13:10 Uhr
- Sicherheiten
- verlangt: Bankbürgschaft für Anzahlungen
Ausführung6 von 7 angegeben
- Ausführungsbedingungen
- Leistung: - Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- Erforderlich
- Elektronische Bestellung
- wird nicht genutzt
- Elektronische Zahlung
- wird nicht genutzt
- Vorbehaltene Ausführung
- Nein
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer Thüringen, 99423 Weimar
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben
- Hinweis
- Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.
- Hinweis
- #Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRM3BQ#
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
AuftraggeberAlle Verfahren dieses Auftraggebers
- Name
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Art
- Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Bildung
- Anschrift
- 07745 Jena
- Kontakt
- kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung
Bei uns erfasst
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS14.08.2026 · 1 Angebot
- Los 4 - NIR-Dauerstrichlaser02.02.2026 · 1 Angebot
- Vektornetzwerkanalysator29.01.2026
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Häufige Zuschlagsempfänger
- Analytik Jena GmbH + Co.KG2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens3 Meldungen
- 2. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 25.08.2026 auf 01.09.2026 verschoben
- 1. Berichtigung (diese Seite) · Aktualisierte InformationenFrist von 11.08.2026 auf 25.08.2026 verschoben
- BekanntmachungFrist 11.08.2026
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 11190d9e-cf9a-419d-abd9-2a968ad46363.