Wafer-Prüfgerät für Microsystemtechnik und Nanotechnologie

a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: Westsächsische Hochschule Zwickau; Straße, Hausnummer: Kornmarkt 1; Postleitzahl: 08056; Ort: Zwickau; Land: Deutschland; E-Mail: Beschaffungswesen@fh-zwickau.de; Telefonnummer: +49 375-536-0; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Öffentliche Ausschreibung c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: 1. Leistungsbeschreibung

Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung den Kauf eines manuellen Wafer-Prüfgerätes mit Systemzubehör für 150mm Wafer Folgende Mindestanforderungen müssen erfüllt werden: Gerätezustand: Neu Position 1: 1x Manuelles Wafer-Prüfgerät für 150mm Wafer • Probenbühne mit mindestens 180mm Verfahrweg in xy-Richtung, xy-Feintrieb mindestens 25mm x 25mm und Feinrotation +/- 5° • Schwenkbare oder leicht entfernbare Mikroskopaufnahme mit xy-Trieb von mindestens 50mm x 50mm • Schwenkbare oder leicht entfernbare oder klemmbare Aufnahme für einen Newport Oriel LSH-7320 Solarsimulator für senkrechten Lichteinfall • Platz für 10 Mikropositioniereinheiten mit Probe-Arm und Wolfram-Nadel

1.1 1x Beheizbare Probenaufnahme für Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150mm mit Vakuumansaugung („Chuck“) • Temperaturbereich mindestens Raumtemperatur bis 300°C • Aktiv gekühlt 1.2 1x Vakuum-Halterung für kleine Proben bis zu 1mm x 1mm 1.3 1x Probe Card Adapter für 4,5“ x 7“ Standard probe cards • Kantensteckverbinder mit jeweils 24 Kontakten beidseitig • Kontakt-Pitch: 0,15in

1.4 1x Halter für Leiterkarten • Spannbare Leiterkartengröße bis Euromaß (100mm x 160mm) oder größer • Freie Höhe für Bauteile bei Messung von hinten: 20mm 1.5 1x Stereomikroskop • Binokularer Einblick mit zusätzlichem C-Mount oder gleichwertigem Kameraanschluss • Optischer Zoom mindestens 10x • Passendes Okularpaar • Arbeitsabstand mindestens 80mm • Möglichkeit zur koaxialen Beleuchtung und zur Ringbeleuchtung per LED

1.6 1x Kamera mit C-Mount oder gleichwertigem Anschluss • Möglichkeit zur Datenspeicherung • Mindestauflösung: 1936 (H) x 1096 (V) Pixel bzw. Full-HD • Videobetrieb ohne PC und nur mit Monitor möglich

1.7 1x Full-HD Monitor mit HDMI-Anschluss oder gleichwertigem Anschluss zur Live-Wiedergabe des Kamerasignals • Mindestens 21“ Bilddiagonale • Mindestens 1936 (H) x 1096 (V) bzw. Full-HD

1.8 1x Monitor-Befestigung passend zum Monitor und passend zur Verwendung der Verdunkelungshaube

1.9 5x Mikropositioniereinheit links • DC Mikropositionierer • Jeweils mindestens 10mm Positionierfreiheit in x, y und z

1.10 5x Mikropositioniereinheit rechts • DC Mikropositionierer • Jeweils mindestens 10mm Positionierfreiheit in x, y und z

1.11 10x Probe-Arm • Vollständige Unterstützung des Temperaturbereichs der beheizbaren Probenaufnahme

1.12 10x Koaxialkabel passend zu den Probe-Arms • Länge pro Kabel mind. 2m

1.13 25x Wolfram-Nadeln passend zu den Probe-Arms • Spitzenradius unter 10 Mikrometer

1.14 1x Verdunkelungshaube • Schutz vor elektromagnetischer Entkopplung (EMI) • Zuschaltbare Beleuchtung • Lichtdichte Kabeldurchführungen • Wenn nötig: Adapter/ Montagekit zur Adaption auf den vibrationsdämpfenden Tisch 1.15 1x Vibrationsdämpfender Tisch • Passend zur Verdunkelungshaube • Luftdämpfung oder gleichwertige Dämpfung • Aufständerung derart, dass stabiler Stand auf eine 80cm x 80cm großen Grundplatte möglich ist

1.16 Nicht aufgeführtes Systemzubehör, welches zum ordnungsgemäßen Betrieb des angebotenen Gesamtsystems notwendig ist, bspw. Adapter, Kabel, …, im Angebot spezifizieren und inkludieren

1.17 1x Lieferung frei Verwendungsstelle ggf. inklusive Importgebühren/ Zoll etc.

1.18 1x Abnahme vor Ort durch Servicetechniker mit Abnahmeprotokoll; Orte der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Westsächsische Hochschule Zwickau; Straße, Hausnummer: Peter-Breuer-Str. 2; Postleitzahl: 08056; Ort: Zwickau; Land: Deutschland e) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe f) Nebenangebote sind nicht zugelassen g) Ausführungsfrist: Beginn: nicht angegeben; Ende: 03.05.2024; bis KW.18 in 2024 (max. 40 Wochen nach Auftragserteilung) h) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. i) Angebotsfrist: 23.06.2023, 11:00 Uhr; Bindefrist: 31.07.2023 j) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: nicht angegeben k) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: 100% des Bestellwertes nach Rechnungslegung und unter Vorlage einer gültig ausgestellten und unbefristeten Bankbürgschaft. Rechnung und Bankbürgschaft sind einzureichen bis spätestens zum 30.10.2023. l) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die die Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters verlangen: siehe Ausschreibungsunterlagen m) Kosten für Vervielfältigungen der Vergabeunterlagen: entfällt n) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen

Labortechnik/ Messtechnik