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Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Universität Heidelberg · Heidelberg, Baden-Württemberg

Aktenzeichen Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIPveröffentlicht 27.08.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 33 Tagen abgelaufen

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung in Baden-Württemberg.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Baden-Württemberg (22 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Heidelberg69117, Baden-Württemberg
Einreichung
elektronisch: Erforderlichausschreibungen.landbw.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 62 Tage (41 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 3 Angebote je Los (91 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 0 %, Leistung und Qualität 100 %.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 2 Monaten
  2. Fragen bis 23:59 Uhr
    an Universität Heidelberg
    vor 43 Tagen
  3. Angebotsfrist 10:00 Uhr
    nur elektronisch über ausschreibungen.landbw.de
    vor 33 Tagen
  4. Öffnung der Angebote 10:05 Uhr
    Es findet keine öffentliche Submission statt.
    vor 33 Tagen
  5. Heute
  6. Bindefrist endet
    42 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    in 9 Tagen

Beschreibung

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

Bedingungen

Zuschlag1 von 1 angegeben

Qualität
UfAB-MethodeGewichtung (Punkte, genau) 100Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis

Eignung6 von 6 angegeben

Eintragung in das Handelsregister
Eintragung in einem Handelsregister Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet;
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von: - 2.500.000 EUR für Personenschäden - 1.000.000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen. Di … ganz lesenAndere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von: - 2.500.000 EUR für Personenschäden - 1.000.000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen. Die Gesamtleistung für alle Versicherungsfälle eines Versicherungsjahres beträgt das 2-fache der vereinbarten Versicherungssumme.
Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen: Ausführung von Lieferungen der genannten Art Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. drei folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt. Eine wertbare Referenz muss mindestens folgende wesentliche Kriterien erfüllen: - Anzugebender Zeitraum: 2021-2025
Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards
Qualitätssicherungssysteme und Umweltmanagementnormen Bescheinigungen unabhängiger Stellen über Qualitätssicherungsnormen Wird der Wirtschaftsteilnehmer in der Lage sein, Bescheinigungen unabhängiger Stellen darüber vorzulegen, dass er die vorgegebenen Qualitätssicherungsnormen erfüllt? z. B. Ein o … ganz lesenQualitätssicherungssysteme und Umweltmanagementnormen Bescheinigungen unabhängiger Stellen über Qualitätssicherungsnormen Wird der Wirtschaftsteilnehmer in der Lage sein, Bescheinigungen unabhängiger Stellen darüber vorzulegen, dass er die vorgegebenen Qualitätssicherungsnormen erfüllt? z. B. Ein offiziell installiertes und strukturell integriertes professionelles Qualitätsmanage-ment nach ISO 9001 oder Vergleichbares?
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist teilweise ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Za … ganz lesenBildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
ausschreibungen.landbw.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
42 Tage
Angebotsöffnung
05.10.2026, 10:05 Uhr. Es findet keine öffentliche Submission statt.
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe, Durlacher Allee 100, 76137 Karlsruhe
Fristen für Nachprüfungsanträge
Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von z … ganz lesenEs wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben

Hinweis
Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt "Fristen des Vergabeverfahrens … ganz lesenBieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt "Fristen des Vergabeverfahrens" angegebenen Frist über den Projektraum des "Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg" (VMP) in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden. Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich "Kommunikation" im Projektraum des Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg; siehe hierzu Abschnitt "Kommunikation". Die Bieter sind verpflichtet, sich regemäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters). Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert.
Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY45S#

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Baden-Württemberg. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

280vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (124 Lose mit Angabe)
244.407 €Zuschlagswert im Median
120.045 € – 372.365 €mittlere Hälfte, 53 Werte

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Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 05.10.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung efc15997-e367-4765-832e-0ecf694e8470.