Vakuumzubehör

Hierbei handelt es sich um "spezielles" Vakuumzubehör (Vakuumessgeräte und Vakuumpumpen) für unser Beschichtungszentrum (--> hierbei handelt es sich um die drei vorhandene (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideranlagen der Firma Fa. Leybold GmbH) innerhalb des INCYTE Reinraums. Es handelt sich um folgendes Zubehör: 3 Stück Leybold ECODRY 65 plus Wälzkolbenpumpe • Trocken verdichtend, Abriebfreies Pumpprinzip, Manuell zuschaltbarer Gasballast zum Pumpen von Wasserdampf, Integriertes Rückschlagventil im Auspuff • Max. Saugvermögen ohne Gasballast: 55 m³/h • Enddruck ohne Gasballast: 3 x 10-2 mbar • Leckrate: < 1E-5 mbar l/s • Wasserdampfkapazität (mit Gasballast): 500 g/h • Schalldruckpegel bei Enddruck: 52 dB(A) • Schutzart: IP 42 • Ansaugflansch: DN40 ISO-KF • Auslassflansch: DN16 ISO-KF • Kühlung: Luft • Netzanschluss: IEC EN60320 C20 • Schnittstellen: RS485 (D-Sub-9),Steuerschnittstelle (D-Sub-9) • CE-konform • NRTL-zertifiziert durch TÜV Rheinland (cTUVus) • RoHS-konform nach Richtlinie 2011/65/EU • Inkl. Brückenstecker D-SUB-9, Blindflansche mit Zentrier- und Spannringen für Einlass- und Auspuffflansch • Gebrauchsanweisung • 161 810 EU Netzkabel EU, Schuko/CEE 7/7 - C19, V-Lock-Verriegelung, Länge 2 m

3 Stück THERMOVAC TTR91RN Filament (Tungsten/Rhenium) Pirani Drucksensor • Messbereich: Atmosphäre bis 5e-4 mbar • Anschlussflansch: 16KF • Signalausgang: Analogue 0-10v • Elektrischer Anschluss: RJ45/FCC68 • Betriebsspannung: 15 to 48 V d.c.

3 Stück Elektronisches Vakuum-Druckmessgerät IONIVAC Combi Transmitter • Meßbereich 5E-10 - 1000mbar • Flansch DN 25 KF mit RS 232 C • Versorgungsspannung + 24 V DC • Ausgangssignal 0 - 10 V log • Zwei Meßprinzipien, Pirani undHeißkathode auf einem Flansch

1 Stück TRIVAC D16B Zweistufige Drehschieberpumpe • Gasballasteinrichtung • Saugvermögen nach DIN 28400: 16,5 m³/h (50 Hz) / 19,8 m³/h (60 Hz) • Endpartialdruck ohne Gasballast: <= 10-4 mbar • Endtotaldruck mit Gasballast: <= 5·10-3 mbar • Schallpegel nach DIN 45 635 ohne / mit Gasballast: 54 / 56 dB(A) • Ölfüllung min/max: 0,5 / 1,0 l • Inkl. Ölfüllung mit LVO 130 • Ansaugflansch: DN25KF horizontal und vertikal einsetzbar • Auslassflansch:DN25KF horizontal und vertikal einsetzbar • Manuelle Gasballasteinrichtung (ein/aus) • Inertgasanschluß für den Gasballast M16x1,5 • Inertgasanschluß für denÖlkasten M16x1,5 • Ölablaß und Öleinfüllschraube • Gebrauchsanleitung • Ersatzteilliste: 2 x Zentrier- und Spannringe • Ölfüllung Leybonol LVO 130 • CF 4-25 Hauptstromölfiltereinrichtungen