Surface inspection system for defect detection on wafers - PR880078-3220-P
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern
Aktenzeichen PR880078-3220-Pveröffentlicht 16.10.2025LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Laufzeit
- 9 Monate
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Geplant · Neuausschreibung möglich
Vertrag endete voraussichtlich am
bereits erreicht · aus Vertragsdatum und Laufzeit errechnet
Endet ein Vertrag, schreibt die Vergabestelle die Leistung oft neu aus. Merken Sie den Vertrag vor: Wir erinnern Sie per E-Mail vor dem Vertragsende und melden, wenn dieselbe Vergabestelle eine ähnliche Leistung ausschreibt.
Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- 9 Monate
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.
- Technische Ausführung65 %
- Preis35 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,2 Punkte |
| 25 % teurer | −7 Punkte |
| 50 % teurer | −11,7 Punkte |
| 100 % teurer | −17,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 07.11.2026
- Veröffentlichungvor 13 Monaten
- Heute
Beschreibung
1 piece Surface inspection system for defect detection on wafers. Surface inspection system for the rapid detection of defects on epitaxial (unstructured) wafers. The system should be able to recognize the defect types particles, scratches, topgraphic unevenness (pits) and spots on the wafer surface, classify them according to size and type and indicate the lateral position on a map. The wafer material is based on InP and GaAs substrates on which heterostructures are grown using epitaxial processes (AlInGa)(AsP). The wafers to be examined have a thickness of 350 - 1000µm and a deflection of up to 80µm. The system is to be loaded manually.
Options:
Service contract 5 years
Gegenstand nach CPV
- 31712330HalbleiterHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- Technische Ausführung
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Dauer
- 9 Monate
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| KLA-Tencor GmbH, München | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
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Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- ITC3 Zuschläge
- Veeco GmbH3 Zuschläge
- Applied Materials GmbH2 Zuschläge
- Besi Singapore Pte. Ltd.2 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens3 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- 1. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 14.03.2025 auf 11.03.2025 verschoben
- BekanntmachungFrist 14.03.2025
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung e9f1ff62-1cf9-4c7a-a174-f3c76d30de26.