Spektroskopische Ellipsometrie für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: Westsächsische Hochschule Zwickau; Straße, Hausnummer: Kornmarkt 1; Postleitzahl: 08056; Ort: Zwickau; Land: Deutschland; E-Mail: Beschaffungswesen@fh-zwickau.de; Telefonnummer: +49 375-536-0; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Öffentliche Ausschreibung c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: Spektroskopische Ellipsometrie für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Pos. Menge ME Gerätebezeichung/Beschreibung/technische Mindestanforderung der Leistungsparameter, Produktneutrale Leistungsbeschreibung 1 1 STK Spektroskopisches Ellipsometer für 150mm Wafer - Spektralbereich 190nm bis 890nm oder weiter - Vorbereitung für Erweiterung Spektralbereich im NIR - Spotgröße ohne Mikrospot höchstens 2mm - Optisches Mikroskop zur Probenpositionierung 1.1 1 STK Mikrospot-Option - Spotgröße bis hinunter zu 0,05mm möglich 1.2 1 STK Goniometer - Winkelbereich 55° - 90° oder mehr - Winkeleinteilung 5° oder feiner 1.3 1 STK Probentisch - Probendurchmesser bis zu 150mm / 6“ möglich - Bewegungsbereich min. 150x150mm 1.4 1 STK PC, Tastatur, Maus - PC passend für Software zur Gerätesteuerung und Messdatenauswertung 1.5 1 STK Monitor - Monitor passend zum angebotenen PC 1.6 1 STK Softwarelizenzen zur Gerätesteuerung, Messdatenerfassung und -auswertung - Referenzdatenbank mit mindestens 350 unterschiedlichen Materialien - Möglichkeit zur Modellierung unbekannter Stoff- und Schichtsysteme - Möglichkeit der Modellierung von Gradientenschichten, sowohl lateral durch aneinandergereihte Einzelmessung als auch Gradienten senkrecht zur Probennormale - Möglichkeit zur Modellierung von Mischschichten und porösen Schichten - Möglichkeit der Anpassung der Messdaten an Modellsysteme - kostenfreie Softwareupdate für einen Zeitraum von mindestens 2 Jahre nach Inbetriebnahme 1.7 1 STK Referenzprobe Siliciumoxid auf Silicium mit definierter Dicke 1.8 1 STK Mechanische Adaption auf ISO 3669:2017 DN40 (CF) Flansche zur in-situ Probencharakterisierung an einer UHV/HV-Kammer - Wechseln zwischen in-situ und ex-situ Konfiguration ohne Neujustage der Optik - 2x DN40 CF Vakuumfenster für Strahleintritt und -austritt, nutzbarer Spektralbereich entspricht mindestens dem Spektralbereich des Ellipsometers - Mikrospot-Option auch im in-situ-Betrieb einsetzbar - Alle notwendigen Teile zur Nutzung der in-situ-Option 1.9 1 STK Gasmesszelle zur Messung unter definierter Atmosphäre Nutzbare Probengröße abweichend zum Gesamtgerät: 10x10mm bis 50x50mm, oder ein weiterer Größenbereich, der den geforderten Bereich inkludiert, wobei die Außenmaße der Zelle derart gewählt werden müssen, damit diese durch eine waagerecht liegende kreiszylindrische Schleuse mit einem Durchmesser von 140 mm und einer Länge von 300mm passt.; Orte der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Westsächsische Hochschule Zwickau; Straße, Hausnummer: Peter-Breuer-Straße 2; Postleitzahl: 08056; Ort: Zwickau; Land: Deutschland e) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe f) Nebenangebote sind nicht zugelassen g) Ausführungsfrist: Beginn: nicht angegeben; Ende: 03.11.2023; 40 Kalenderwochen nach Auftragserteilung h) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. i) Angebotsfrist: 07.07.2023, 11:00 Uhr; Bindefrist: 11.08.2023 j) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: nicht angegeben k) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Zahlungsvereinbarung100 % des Bestellwertes nach vollständiger und mängelfreier Lieferung sowie festgestellter Funktionstüchtigkeit mit Übergabeprotokoll des gelieferten Gesamtsystems Zahlungsziel: 30 Tagen (ggf. Skonto innerhalb 14 Tage)oder,50 % des Bestellwertes nach Auftragsbestätigung und Rechnungseingang innerhalb von 30 Tagen (ggf. Skonto innerhalb 14 Tage); 30 % des Bestellwertes nach Lieferung und Rechnungseingang innerhalb von 30 Tagen (ggf. Skonto innerhalb 14 Tage); 20 % des Bestellwertes nach funktionstüchtiger Übergabe mit Abnahmebescheinigung und Rechnungs- eingang innerhalb von 30 Tagen (ggf. Skonto innerhalb 14 Tage). Vorauszahlungen nach Auftragsbestätigung und Lieferung erfolgen nur nach Vorlage unbefristet ausgestellter und gültiger Bankbürgschaften. Preise sind entsprechend zu kalkulieren. Die Angebotspreise sind entsprechend zu kalkulieren. l) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die die Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters verlangen: Sind in den Ausschreibungsunterlagen genannt. m) Kosten für Vervielfältigungen der Vergabeunterlagen: entfällt n) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen

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