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Frist abgelaufennational

SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS · 01109 Dresden, Sachsen

veröffentlicht 14.12.2022Öffentliche Ausschreibung

Angebotsfristseit 1395 Tagen abgelaufen
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Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Auf einen Blick

Art des Auftrags
keine Angabe
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Öffentliche Ausschreibungnational
Rahmenvereinbarung
keine Angabe
Ort der Leistung
01109 DresdenSachsen
Einreichung
deutsche-evergabe.deArt der Einreichung nicht angegeben
Diese Bekanntmachung ist eine Kurzmeldung. Laufzeit, Lose, Eignungs- und Zuschlagskriterien stehen nur in den Unterlagen auf der Vergabeplattform.
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Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

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Obergrenze: Nationales Verfahren: Der Gesamtwert liegt unter dem jeweiligen EU-Schwellenwert (216.000 € für Liefer- und Dienstleistungen, 5.404.000 € für Bauleistungen). Ausnahme: kleine Lose eines EU-weiten Auftrags.

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 47 Monaten
  2. Angebotsfrist 00:00 Uhr
    über deutsche-evergabe.de
    vor 46 Monaten
  3. Heute

Beschreibung

Equipments zur Zuführung von gasförmigem Siliziumtetrachlorid (SiCl4) zu zwei Ätzsystemen (Applied Materials Centura) aus einem mit flüssigem SiCl4 gefüllten Precursor-Behälter. Der Precursor-Behälter enthält bis zu 800 g flüssiges SiCl4 . Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse <=1000 (ca. Klasse 6 EN ISO 14644-1) oder besser sein.

SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS
Anschrift
keine Angabe
Kontakt
keine Angabe

Bei uns erfasst

38Bekanntmachungen
0Zuschlagsmeldungen

Noch keine Zuschlagsmeldung dieses Auftraggebers im Bestand.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 19121142.