schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau, Thüringen
Aktenzeichen TU-102/22-201-ZMNveröffentlicht 03.03.2023LieferleistungenOffenes Verfahren
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Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenEU-weit
- Rahmenvereinbarung
- ?keine Angabe
- Ort der Leistung
- Ilmenau98693, Thüringen
- Einreichung
- ?keine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.
Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Veröffentlichungvor 44 Monaten
- Heute
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.
Gegenstand nach CPV
- 42900000Maschinen für allgemeine und besondere ZweckeHauptgegenstand
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Annelsys SAS | – |
AuftraggeberAlle Verfahren dieses Auftraggebers
- Name
- Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Art
- Einrichtung des öffentlichen Rechts, Bildung
- Anschrift
- 98693 Ilmenau
- Kontakt
- ?keine Angabe
Bei uns erfasst
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
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Preise und WettbewerbPremium
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 2f56d9b1-d4e1-4932-bd39-f8f0b4575404.