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Frist unbekanntEU-weitLieferleistungenmögliche Doppelmeldung

schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau, Thüringen

Aktenzeichen TU-102/22-201-ZMNveröffentlicht 03.03.2023LieferleistungenOffenes Verfahren

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Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenEU-weit
Rahmenvereinbarung
keine Angabe
Ort der Leistung
Ilmenau98693, Thüringen
Einreichung
keine Angabe
Diese Bekanntmachung ist eine Kurzmeldung. Laufzeit, Lose, Eignungs- und Zuschlagskriterien stehen nur in den Unterlagen auf der Vergabeplattform.

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

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Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 44 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
Annelsys SAS–

AuftraggeberAlle Verfahren dieses Auftraggebers

Name
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Art
Einrichtung des öffentlichen Rechts, Bildung
Anschrift
98693 Ilmenau
Kontakt
keine Angabe

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Thüringen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

17vergebene Aufträge
–Angebotszahl bei nur 6 Losen angegeben
448.627 €Zuschlagswert im Median
325.396 € – 670.220 €mittlere Hälfte, 10 Werte

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Preise und WettbewerbPremium

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 2f56d9b1-d4e1-4932-bd39-f8f0b4575404.