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Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem

Technische Universität München · Garching, Bayern

Aktenzeichen 040/2025veröffentlicht 16.02.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 233 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Landkreis München.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Bayern (31 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
11 Monate
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Garching85748, Landkreis München, Bayern
Einreichung
elektronisch: Erforderlichdtvp.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 77 Tage (38 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (62 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 30 %, Leistung und Qualität 70 %.

  • Preis30 %
  • Qualität70 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−2,7 Punkte
25 % teurer−6 Punkte
50 % teurer−10 Punkte
100 % teurer−15 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 9 Monaten
  2. Fragen bis 23:59 Uhr
    an Technische Universität München
    vor 8 Monaten
  3. Angebotsfrist 09:00 Uhr
    nur elektronisch über dtvp.de
    vor 8 Monaten
  4. Öffnung der Angebote 09:01 Uhr
    vor 8 Monaten
  5. Bindefrist endet
    6 Wochen ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 6 Monaten
  6. Heute

Beschreibung

Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid und Nitrid Dünnfilmen

Beschreibung des Loses

Gegenstand des Auftrags ist Lieferung und Installation (inkl. Training) eines reaktiven Magnetron Co-Sputter-Systems zur Herstellung von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen.

Bedingungen

Zuschlag0 von 0 angegeben

Preis30 %
Qualität70 %

Eignung3 von 3 angegeben

Allgemeiner Jahresumsatz
Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.
Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Eigenerklärungen über je mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.). Maßstab der Vergleichbarkeit ist die … ganz lesenEigenerklärungen über je mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.). Maßstab der Vergleichbarkeit ist die in der Leistungsbeschreibung geforderte Lieferleistung. Die verschiedenen Referenzen müssen nicht jeweils alle in der Leistungsbeschreibung geforderten Komponenten enthalten. Jedoch muss durch die Summe der mindestens 3 Referenzen der wesentlichen Teil der Komponenten, wie Sputterkammer, in-situ tilt Magnetorn-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren (RF, DC, pDC), Schleuse mit automatischem Einzelwafer-Transfer, Dünnschichtmonitor, pneumatische Shutter, Gasdosiersystem (in andere Variante), Computersteurung, Software, und Heizer, abgedeckt sein.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
11 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
dtvp.de
Sprache
Deutsch, Englisch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
6 Wochen
Angebotsöffnung
19.03.2026, 09:01 Uhr
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern, 80534 München
Fristen für Nachprüfungsanträge
Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § … ganz lesenGesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YK051UP#

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Anschrift
Am Coulombwall 4, 85748 Garching
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

266Bekanntmachungen
100Zuschlagsmeldungen

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

87vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (72 Lose mit Angabe)
440.000 €Zuschlagswert im Median
313.273 € – 667.185 €mittlere Hälfte, 19 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 02.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 438b8694-18c3-43e4-950d-6d604cd198ae.