Reaktives-Ionenätzen-System
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart · Stuttgart, Baden-Württemberg
Aktenzeichen E83672223veröffentlicht 27.11.2024LieferleistungenOffenes Verfahren
- Verfahren
- Offenes Verfahren
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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Stuttgart.
- Systemerweiterung motorisierte Rotations- und TranslationstischeUniversität Stuttgart · StuttgartFrist 27.11.2026
- POST-PCR-Pipettier-RoboterPräsidium Technik, Logistik, Service der Polizei Baden-Württemberg · StuttgartFrist 24.11.2026
- ParkautomatenLandeshauptstadt Stuttgart, Haupt- und Personalamt, Abt. Allgemeiner Service, Zentraler Einkauf · StuttgartFrist 20.11.2026
- Quantum Orchestration PlatformUniversität Stuttgart · StuttgartFrist 12.11.2026
Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Baden-Württemberg (26 offen)
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Ort der Leistung
- Stuttgart70569, Baden-Württemberg
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 110 Tage (4 Verfahren, 24 Monate).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 100 %, Leistung und Qualität 0 %.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 05.11.2026
- Veröffentlichungvor 23 Monaten
- Heute
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Gegenstand nach CPV
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Preis
- genannt
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz3 von 3 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Bundes, Villemombler Straße 76, 53123 Bonn
- Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn • der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Beka … ganz lesenkürzer
Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn • der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. 2020/S 026-059398 Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt nicht darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden | – |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Art
- Allgemeine öffentliche Verwaltung
- Anschrift
- Pfaffenwaldring 38-40, 70569 Stuttgart
- Website
- dlr.de
- Kontakt
- evergabe@
dlr.de
Bei uns erfasst
- Verschränkungsbasiertes QKD-Equipment27.08.2026 · 2 Angebote
- Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse26.08.2026 · 1 Angebot
- Lieferung einer Universalprüfmaschine für große Prüfkräfte28.09.2025
- Rahmenvereinbarung Versuchsteile LA10.09.2025
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Baden-Württemberg. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Baden-Württemberg (26 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- AB SCIEX GERMANY GmbH3 Zuschläge
- Attocube Systems AG3 Zuschläge
- Illumina GmbH3 Zuschläge
- Oxford Instruments GmbH3 Zuschläge
- Agilent Technologies Deutschland GmbH2 Zuschläge
- BESTEC GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens2 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- BekanntmachungFrist 17.10.2024
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- Quantum Orchestration PlatformUniversität StuttgartFrist 12.11.2026
- LC-MS/MS-SystemZentralbeschaffung Untersuchungsämter Baden-Württemberg beim Chemischen und Veterinäruntersuchungsamt StuttgartFrist 10.11.2026
Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 7e1a69c1-02ba-4e2a-aa59-12ba2dab1ebd.