Rasterkraftmikroskop (AFM)

Beschafft wird ein Rasterkraftmikroskop (AFM; engl. Atomic Force Microscope) mit einem Scanbereich in x- und y-Richtung von mind. 90µm für die Charakterisierung von Topologien im speziellen im Kontext von elektrischen Halbleiterbauteilen. Das Gerät ist als integraler Bestandteil des halbleitertechnologischen Reinraums des Forschungsgebäudes INCYTE der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen geplant. Es dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften zur Topologie-Charakterisierung, Prozesskontrolle und zukünftig erweiterbaren elektronischen, optischen und mechanischen Messprinzipien. Das System steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung. Es stehen Mittel in Höhe von 105.000EUR inklusive Umsatzsteuer zur Verfügung. Der Angebotspreis darf nicht über dem v. g. Betrag liegen, sonst muss das Angebot von der Wertung ausgeschlossen werden.