PVD Clustertool (IZM-23.1) - PR889033-2590-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern
Aktenzeichen PR889033-2590-Pveröffentlicht 06.08.2025LieferleistungenOffenes Verfahren
- Laufzeit
- 15 Monate
- Verfahren
- Offenes Verfahren
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Geplant · Neuausschreibung möglich
Vertrag endete voraussichtlich am
bereits erreicht · aus Vertragsdatum und Laufzeit errechnet
Endet ein Vertrag, schreibt die Vergabestelle die Leistung oft neu aus. Merken Sie den Vertrag vor: Wir erinnern Sie per E-Mail vor dem Vertragsende und melden, wenn dieselbe Vergabestelle eine ähnliche Leistung ausschreibt.
Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- 15 Monate
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertja
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 45 %, Leistung und Qualität 55 %.
- Technische Ausführung55 %
- Preis45 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 7,5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −4,1 Punkte |
| 25 % teurer | −9 Punkte |
| 50 % teurer | −15 Punkte |
| 100 % teurer | −22,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 07.11.2026
- Veröffentlichungvor 15 Monaten
- Heute
Beschreibung
PVD Clustertool (IZM-23.1)
Beschreibung des Loses
1 piece PVD Clutertool The PVD system must support metal deposition applications for Cu or Au barrier/seed layers for TSV and RDL as well as underbump metallisation (UBM) solutions and aluminium layers. It must provide uniform coverage for semiconductor wafers with and without deep etched vias. In addition, basic requirements are placed on the acceptance and performance of the equipment, the cleanroom environment, transport, installation and support (see specifications).
Gegenstand nach CPV
- 31712100Mikroelektronische Maschinen und GeräteHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- Technische Ausführung
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Dauer
- 15 Monate
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Evatec Europe GmbH, Aschheim | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
Bei uns erfasst
- Bereitstellung und Betrieb eines dedizierten NVIDIA-DGX-H100-Systems06.11.2026
- Lizenzverlängerung Atlassian-Software27.10.2026
- Ausschreibung Gebäudereinigung - Fraunhofer Institut (IMS)23.10.2026 · 9 Angebote
- Batteriezellenentsorgung24.09.2026 · 1 Angebot
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- ITC3 Zuschläge
- Veeco GmbH3 Zuschläge
- Applied Materials GmbH2 Zuschläge
- Besi Singapore Pte. Ltd.2 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens2 Meldungen
- Vergabebekanntmachung (diese Seite)
- BekanntmachungFrist 14.07.2025
Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 8b692bfe-ccd0-4c12-9dfb-772e74a9787e.