PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers
Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS · 01109 Dresden, Sachsen
veröffentlicht 29.05.2024Öffentliche Ausschreibung
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
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Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- ?keine Angabe
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Öffentliche AusschreibungEU-weit
- Rahmenvereinbarung
- ?keine Angabe
- Ort der Leistung
- 01109 DresdenSachsen
- Einreichung
- deutsche-evergabe
.deArt der Einreichung nicht angegeben
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.
Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 07.11.2026
- Veröffentlichungvor 29 Monaten
- Angebotsfrist 14:00 Uhrvor 29 Monatenüber deutsche-evergabe.de
- Heute
Beschreibung
We are seeking proposals for lithography process support for two lithography layers. The project involves utilizing 193nm (ArF) or 248nm (KrF) lithography technology for the first layer to expose structures of a minimum of 150nm. For the first lithography layer two possible mask options are required. The provider will be responsible for photoresist, exposure, and development processes, including metrology. For the second lithography layer, i-Line lithography technology can be used since dimensions for that layer are at least 450 nm. The provider will again handle the mentioned steps (see figure 1). The entire project must adhere to the protocol zones for wafer processing (Front End of Line) as per SEMI Standard.
PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers
Gegenstand nach CPV
- 50Reparatur- und WartungsdiensteHauptgegenstand
- 51Installation (außer Software)
- 55Dienstleistungen des Hotel- und Gaststättengewerbes und des Einzelhandels
- 66Finanz- und Versicherungsdienstleistungen
- 70Immobiliendienste
- 71Dienstleistungen von Architektur-, Konstruktions- und Ingenieurbüros und Prüfstellen
- 75Dienstleistungen der öffentlichen Verwaltung, Verteidigung und Sozialversicherung
- 77Dienstleistungen in Landwirtschaft, Forstwirtschft, Gartenbau, Aquakultur und Bienenzucht
- 79Dienstleistungen für Unternehmen: Recht, Marketing, Consulting, Einstellungen, Druck und Sicherheit
- 80Allgemeine und berufliche Bildung
- 85Dienstleistungen des Gesundheits- und Sozialwesens
- 90Abwasser- und Abfallbeseitigungs-, Reinigungs- und Umweltschutzdienste
- 92Dienstleistungen in den Bereichen Erholung, Kultur und Sport
- 98Sonstige gemeinschaftliche, soziale und persönliche Dienste
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
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Bei uns erfasst
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 22144524.