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vergebenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Plasma Ashing System

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften · Garching, Bayern

Aktenzeichen BAdW-WMI-2025-1veröffentlicht 04.06.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 484 Tagen abgelaufen
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Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Garching85748, Landkreis München, Bayern
Einreichung
elektronisch: Erforderlichdtvp.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 17 Monaten
  2. Fragen bis 23:59 Uhr
    an Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
    vor 16 Monaten
  3. Angebotsfrist 12:00 Uhr
    nur elektronisch über dtvp.de
    vor 16 Monaten
  4. Öffnung der Angebote 12:01 Uhr
    Garching, Deutschland
    vor 16 Monaten
  5. Bindefrist endet
    45 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 14 Monaten
  6. Heute

Beschreibung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Beschreibung des Loses

siehe Leistungsbeschreibung.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Qualität
Technische Spezifikationensiehe Vergabeunterlagen.
Preis
siehe Vergabeunterlagen.

Eignung5 von 5 angegeben

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).
Allgemeiner Jahresumsatz
Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen
Eintragung in ein relevantes Berufsregister
Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen desBieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 desGesetzes über Ordnungsw … ganz lesenFolgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen desBieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 desGesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach: - § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen imAusland), - § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oderwegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz 3 / 5 oderteilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 desStrafgesetzbuchs zu begehen, - § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte), - § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU odergegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), - § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern), - den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit §335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), - Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter imZusammenhang mit internat. Geschäftsverkehr) oder - den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderungdes Menschenhandels). - Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB). - Eigenerkl. (gemäß § 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass - weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat, - das Unternehmen des Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat, - weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im Rahmen der berufl.Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d. Unternehmens infrage gestellt wird, - weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung, Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbsbezwecken oder bewirken, - das Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o.Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen Beendigung, zuSchadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat. -Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4 SchwarzArbG - Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer Berufsgen. oder einer vergleichbarenUnfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters - Eigenerkl. ü. d. Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist teilweise ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Za … ganz lesenBildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
dtvp.de
Sprache
Deutsch, Englisch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Erforderlich
Bindefrist
45 Tage
Angebotsöffnung
11.07.2025, 12:01 Uhr. Garching, Deutschland
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: siehe Vergabeunterlagen.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern, Maximilianstraße 39, 80538 München
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ85Z10

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Art
Anstalten des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Walther-Meissner-Str. 8, 85748 Garching
Website
wmi.badw.de
Kontakt
kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung

Bei uns erfasst

22Bekanntmachungen
9Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

87vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (72 Lose mit Angabe)
440.000 €Zuschlagswert im Median
313.273 € – 667.185 €mittlere Hälfte, 19 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 11.07.2025

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung e2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2c.