Lithographie Track für Fotomaterialien - PR345269-3460-W
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern
Aktenzeichen PR345269-3460-Wveröffentlicht 06.03.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- ?keine Angabe
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.
- Technische Details65 %
- Preis35 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,2 Punkte |
| 25 % teurer | −7 Punkte |
| 50 % teurer | −11,7 Punkte |
| 100 % teurer | −17,5 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Veröffentlichungvor 32 Monaten
- Heute
Beschreibung
1 Stück Lithographie Track für Fotomaterialien
Die Spezifikation beschreibt ein automatisches Beschichtungs- und Entwicklungsgerät für die lithographische Strukturierung von Schichten im Bereich der 2.5D/3D Wafer-Level Systemintegration zur Erzeugung von höchstintegrierten mikroelektronischen 2.5D/3D Systemen basierend auf 300mm Wafer-Substraten. Mit dem Gerät sollen Polymermaterialien und Fotoresiste mit einer Schichtdicke von 0,5-200μm beschichtet und entwickelt werden, welche es ermöglicht Strukturen im 1μm Bereich zu realisieren. Die vollautomatische Abarbeitung erfolgt Rezept basiert.
10 Bedarfspositionen - BP 10.6. Zwei weitere identische Proximity Heizplatten gemäß 5.7.2 (BP) 10.7. Ein zusätzliches Spin Coater Prozessmodul gemäß 5.6 welches in den Grundrahmen integrierbar ist. (BP) 10.8. FFUs zur Erstellung eines Klasse 100 / ISO 5 Reinraums innerhalb der abgeschlossenen Geräteumgebung zur Verbesserung der Umgebungsbedingung gemäß 2.19 . (BP)
Gegenstand nach CPV
- 42990000Diverse Maschinen und Geräte für besondere ZweckeHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag1 von 1 angegeben
- Qualität
- Technische Details
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang2 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Verlängerung
- 10 Bedarfspositionen - BP 10.6. Zwei weitere identische Proximity Heizplatten gemäß 5.7.2 (BP) 10.7. Ein zusätzliches Spin Coater Prozessmodul gemäß 5.6 welches in den Grundrahmen integrierbar ist. (BP) 10.8. FFUs zur Erstellung eines Klasse 100 / ISO 5 Reinraums innerhalb der abgeschlossenen Geräteumgebung zur Verbesserung der Umgebungsbedingung gemäß 2.19 . (BP)
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- VERGABEKAMMER, Villemombler Straße 76, 53123 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG, Garching | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
Bei uns erfasst
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- Batteriezellenentsorgung24.09.2026 · 1 Angebot
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH4 Zuschläge
- SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG4 Zuschläge
- Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.3 Zuschläge
- AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH3 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- AP und S International GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 2e0785ac-3fdc-42d7-a9a3-292aa4a5b273.