Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage

Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet.

Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert.

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt VITAL-SENSE durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf zweidimensionalen (2D) Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Die zivilen und militärischen Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig. In Zusammenarbeit mit der Bundeswehr können spezifische Lösungen erarbeitet werden. Für die Bundeswehr sind diese Systemüberlegungen von größter Bedeutung, da zukünftige Konzepte, zum Beispiel für das Sanitätswesen, autonome Systeme oder die Sicherheit der Soldaten und der Zivilbevölkerung, direkten Nutzen aus dem Vorhaben generieren können.

Im Rahmen des Projekts VITAL-SENSE will die UniBw M mit verschiedenen 2D-Materialien und Schichtsystemen Halbleiterstrukturen herstellen, wie sie z. B. in LEDs, Lasern, Solarzellen oder Hochgeschwindigkeitstransistoren verwendet werden. Dafür benötigt sie eine Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage), die all diese Schichten in hoher Qualität auf ihre Substrate wachsen kann.

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage zur gleichzeitigen Prozessierung von drei 2-Zoll-Substraten einschließlich der Durchführung eines Trainings.

Der Auftragnehmer muss insbesondere folgende Leistungen erbringen:

- Lieferung einer MOVPE-Anlage mit Showerhead-Technologie im Reaktor und einem manuellem Kammer Reinigungsprozess, Temperaturkontrolle, Pumpsystem und Kühlung inklusive Computer Control System, das alle Anlagen und Beschichtungsprozesse überwacht und steuert sowie einem Gas handling System; - Installation und Inbetriebnahme der Anlage; - 3-tägiges Training für zwei Teilnehmer.