Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Megaschall Reinigungsanlage für Einzelwafer , einschließlich Schulung

Das Leistungsverzeichnis beschreibt die zu erfüllenden Anforderungen. Die spezifizierten Anforderungen im Angebot sind einzuhalten. Bei Nichterfüllung einer spezifizierten Anforderung des Leistungsverzeichnisses kann das Angebot in der Ausschreibung nicht berücksichtigt werden. Das Megasonic-Reinigungssystem für Einzelwafer mit einer Größe von bis zu 200 mm Durchmesser muss die folgenden Anforderungen erfüllen. Grundsystem-Komplettes Reinigungssystem als Tischlösung oder Standardgerät mit einer Stellfläche von weniger als 9 qm. Sicherheitseinrichtungen-Flüssigkeitsfilter, Deckelverriegelung, Vakuumsensor Chemikalieneignung-Wasser, DI-Wasser, milde Säurelösungen, milde Lösungsmittel Zentrale Steuereinheit-mit Touchscreen und Rezepturspeicher mehr als 1000 Rezepte für das Schleudern von Wafern-langsames Schleudern zum Reinigen und schnelles Schleudern zum Trocknen, kann vom Megaschall-Controller getrennt sein Zusätzliche Steuerungen-Steuergerät mit Software für pneumatische Ventile für Reinigungschemikalien Automatische Injektionsleitung für Reinigungschemikalien, einschließlich pneumatischer Ventile mit einer Mindestgröße von ¼Zoll-einschließlich Überdruck- Ventil Dosierpumpe für Reinigungschemikalien angeschlossen an die zentrale Steuereinheit Vakuum-Chuck-geeignet für 4-, 5-, 6-und 8-Zoll-Wafer, vergleichbare quadratische Substrate und Substartstücke mit einer Größe von 0,5 cm x 0,5 cm und größer Megasonic-Generator-Leistung mindestens 50 W Megasonic-Aktuator-Transducer-für die Montage von überdrehbaren Wafern mit einer aktiven Fläche von 200 mm, geringem Abstand zum Wafer kleiner als 3 cm und Saphir-Oberfläche Montage-Montagesatz für den Aktuator Wandler Ablauf-und Abluftanschlüsse, passend zum Megaschall-Reinigungssystem und flexibel für bezgl. Montage 100mm Abluftrohrdruchmesser, Chemikalienentsorgung Kanister, Wasser-Standardabflussrohr-genauer für die Flüssigkeiten Wellschlauch- Polypropylen min. 1,5 m, passend für Abflussöffnung der Anlage2 Exemplare Vakuumpumpe-Ölfreie Standard-Vakuumpumpe für den Vakuum-Chuck Gewährleistung-Mindestens 12 Monate Gewähreistungspaket für das Gerät mit Ausnahme Verschleißteile und alle Komponenten, beginnend ab Inbetriebnahme, sind im Angebotspreis enthalten Dokumentation und Bedienungsanleitung-Die Dokumentation in Schriftform ist in englischer Sprache im Lieferumfang enthalten. Zusätzliche deutschsprachige Dokumentation ist vorteilhaft. Sonstiges-Neue Anlage oder Demoanlage-überholt, mit neuen Verschleißteilen Installation im Reinraumlabor Hochschule Schmalkalden Schulung im Reinraumlabor Hochschule Schmalkalden 1 Tag Lieferung-Vorort-Anlieferung und Einbringung bis zum Aufstellort Hochschule Schmalkalden, Gebäude B, Reinraumlabor erfolgt durch den Anbieter. Anlieferung-Einbringung der Anlage durch Türöffnung von maximal 1900 mm Höhe und 1400 mm Breite ist möglich-Hochschule Schmalkalden, Gebäude B, Reinraumlabor, Besichtigung bei Bedarf möglich, zu beachten ist eine Engstelle im Reinraum von 1200mm Breite Anlieferung-Die Anlieferung soll nach Entladung ebenerdig bis zum Aufstellort erfolgen. Aufstellort ist im Erdgeschoss, es sind keine Stufen zu überwinden. Anlieferung-Die Anlieferung muss frei Haus bis zum Aufstellungsort Reinraumlabor, Gebäude B der Hochschule erfolgen. Verpackung-Verpackungsmaterial muss im Angebot enthalten sein. Transportversicherung-Eine Transportversicherung für die Anlage muss im Angebot enthalten sein.