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vergebenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Laserlithographie

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Köln, Nordrhein-Westfalen

Aktenzeichen ELVIS-ID E67746541veröffentlicht 03.07.2026LieferleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 94 Tagen abgelaufen
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Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Nordrhein-Westfalen (31 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Köln51147, Nordrhein-Westfalen
Einreichung
elektronisch: Erforderlichsubreport.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 95 Tage (116 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (95 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 05.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 4 Monaten
  2. Angebotsfrist 10:00 Uhr
    nur elektronisch über subreport.de
    vor 3 Monaten
  3. Öffnung der Angebote 10:00 Uhr
    vor 3 Monaten
  4. Bindefrist endet
    46 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    vor 48 Tagen
  5. Heute

Beschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.

Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Beschreibung des Loses

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.

Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Preis
Preis 50%
Qualität
Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%

Eignung12 von 12 angegeben

Eintragung in das Handelsregister
Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.
Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlag … ganz lesenBieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der Bekanntmachung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache abgefasst sein.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der Unternehmensgründung • Standorte des Unternehmens • Rechtsform des Unternehmens • Registergericht und Registernummer • Umsatzsteuer Identifikationsnummer (US … ganz lesenFirmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der Unternehmensgründung • Standorte des Unternehmens • Rechtsform des Unternehmens • Registergericht und Registernummer • Umsatzsteuer Identifikationsnummer (USt-ID) • Identifikationsnummer (Leitweg-ID) • Einstufung als KMU • Einstufung als Start-UP • Börsennotiert • Staatsangehörigkeit des wirtschaftlichen Eigentümers des Unternehmens • Beschreibung des Kerngeschäftes
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Eigenerklärung „BMWK-Russland“: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in Russland untersagt wird, auch auf Belarus. Der Bieter erklärt mit der Eigenerklärung gemäß Art. 5k der VO 833/2014, dass sich seine Geschäftstätigkeiten ebenfalls nicht auf Belarus erstrecken.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz)
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation)
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Erklärung einer Bietergemeinschaft.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Verpflichtungserklärung eines Unterauftraggebers.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Insolvenz, Zahlungsunfähigkeit, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Rein nationale Ausschlussgründe, Mangelhaft … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Insolvenz, Zahlungsunfähigkeit, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Rein nationale Ausschlussgründe, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Interessenkonflikt, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung9 von 10 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
subreport.de
Sprache
Deutsch, Englisch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronische Signatur
nicht verlangt
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
46 Tage
Angebotsöffnung
03.08.2026, 10:00 Uhr
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in de … ganz lesenDie Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen. Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn • der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
Ausschlussgründe wegen der Nähe zu Russland: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022.

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Art
Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Linder Höhe, 51147 Köln
Website
dlr.de
Kontakt
evergabe@dlr.de

Bei uns erfasst

1.545Bekanntmachungen
757Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Nordrhein-Westfalen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

350vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (185 Lose mit Angabe)
240.910 €Zuschlagswert im Median
216.000 € – 445.595 €mittlere Hälfte, 68 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 03.08.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 74b4b6a8-765f-46d2-a0b3-07344fa28025.