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Frist abgelaufennational

Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) · Deutschland

veröffentlicht 10.10.2023Offenes Verfahren

Angebotsfristseit 1095 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungsubreport-elvis.de

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Auf einen Blick

Art des Auftrags
keine Angabe
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes Verfahrennational
Rahmenvereinbarung
keine Angabe
Ort der Leistung
Deutschland
Einreichung
subreport-elvis.deArt der Einreichung nicht angegeben
Diese Bekanntmachung ist eine Kurzmeldung. Laufzeit, Lose, Eignungs- und Zuschlagskriterien stehen nur in den Unterlagen auf der Vergabeplattform.
Zur Bekanntmachung auf subreport-elvis.de

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Obergrenze: Nationales Verfahren: Der Gesamtwert liegt unter dem jeweiligen EU-Schwellenwert (216.000 € für Liefer- und Dienstleistungen, 5.404.000 € für Bauleistungen). Ausnahme: kleine Lose eines EU-weiten Auftrags.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 96 Tage (115 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (95 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 37 Monaten
  2. Angebotsfrist 14:00 Uhr
    über subreport-elvis.de
    vor 36 Monaten
  3. Heute

Beschreibung

Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.

Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Anschrift
keine Angabe
Kontakt
keine Angabe

Bei uns erfasst

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

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Preise und WettbewerbPremium

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 20987752.