IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Partikelmessgeräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Partikelmess-geräts zur Messung von 150 mm und 200 mm Wafern. Die Anlieferung der Anlage an das Institut für Mikroelektronik Stuttgart muss bis spätestens 24 Monate nach Zuschlagserteilung erfolgen. Die Anforderungen an das zu beschaffenden Partikelmessgeräts ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2). Das Angebot ist in deutscher oder englischer Sprache abzufassen. Der Schriftverkehr mit der Vergabestelle ist ausschließlich in deutscher oder englischer Sprache zu führen Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.