halbautomatischer Waferprober

Die Ausschreibung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten halbautomatischen Wafer Prober Messsystems zur elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen und -schaltungen auf Wafern. Das Wafer Prober Messsystem soll geeignet sein, um extrem rauscharme elektrische Messungen mit geringem Ableitstrom im Frequenzbereich von 0 bis 10 GHz durchzuführen. Das Messsystem muss aus einem halbautomatischen Wafer Prober für 200 mm Wafer, einem Halbleiter-Analysator und einer übergreifenden Software, welche sowohl den Prober als auch den Analysator ansteuert und die Messdaten plottet und speichert, bestehen. Der Halbleiter-Analysator muss ein Gerät der Serie 4200A der Firma Keithley Instruments, LLC enthalten. Speziell sollen mit dem Halbleiter-Analysator DC IV-Charakteristiken mit Strömen bis zum fA-Bereich bzw. Spannungen bis zum sub-Mikrovolt-Bereich sowie die dynamische Strom- bzw. Spannungscharakteristik von Bauelementen erfasst werden.