Zum Inhalt
Menü
MerkenOriginalbekanntmachung
Frist abgelaufenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen3 Berichtigungen

FIB & SEM system (HHI-01) - PR1216644-3220-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern

Aktenzeichen PR1216644-3220-Pveröffentlicht 23.06.2026erstmals 23.06.2026LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Teilnahmefristseit 99 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabe.fraunhofer.de
Diese Fassung ist berichtigt worden. Aktuell ist die Meldung vom 23.06.2026.Zur aktuellen Fassung

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
12 Monate
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendnein
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetja
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 40 %, Leistung und Qualität 60 %.

  • Technik50 %
  • Nachhaltigkeit10 %
  • Preis40 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 6,7 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,6 Punkte
25 % teurer−8 Punkte
50 % teurer−13,3 Punkte
100 % teurer−20 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Erstveröffentlichung
    vor 5 Monaten
  2. 3. Berichtigung (diese Fassung)
    vor 5 Monaten
  3. Teilnahmeanträge bis 09:00 Uhr
    vor 3 Monaten
  4. Heute

Beschreibung

FIB & SEM system + floor vibrations, acoustics interference, and magnetic field interference (HHI-01)

Beschreibung des Loses

1 Stück FIB-SEM Dualbeam System

Im Rahmen der Beschaffung soll ein feldfreies (ohne Immersionsoptik) fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB-SEM) in Kombination mit einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) ausgewählt werden. Das System wird für die Strukturierung, Nanostrukturierung sowie Querschnitts- und Oberflächenanalyse von vorwiegend III/V-Halbleitern, LNOI, Polymeren sowie Resists und für die Halbleitertechnik typischen Prozessprodukten eingesetzt. Programmierbare und automatisierte Routinen sollten nach Möglichkeit konfigurierbar sein.

Im Rahmen der Ausschreibung soll das neue System installiert werden. Darüber hinaus sind am Aufstellungsort des Systems Raummessungen durchzuführen. Die Raummessungen sollten Bodenvibrationen, akustische Störungen und magnetische Störungen umfassen. Der Bieter verpflichtet sich, durch entsprechende Vorbereitungsmaßnahmen am Aufstellungsort sicherzustellen, dass die Gerätespezifikationen und die Prozessspezifikation (Prozessgas) eingehalten werden. Optionen - Fortgeschrittenenschulung für 15 Tage (2 Personen), Abfrage der Kontingente nach Bedarf - 1 Gasinjektionssystem mit weiteren Elementen, wird im Rahmen der Ausschreibung festgelegt - Softwaremodul zum Import von KLAF-Dateien

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Technik50 %
Nachhaltigkeit10 %
Preis40 %
Qualität
Technik
Qualität
Nachhaltigkeit

Eignung7 von 7 angegeben

Referenzen zu bestimmten Arbeiten
Angabe von mindestens drei in Art und Umfang vergleichbaren Referenzprojekten aus den letzten fünf Jahren, jeweils mit Kurzbeschreibung des Geräts, Angabe des Auftraggebers (Name + Kontaktdaten) und Jahresangabe der Leistungserbringung. Als vergleichbare Maschinen gelten Plasma-FIB Anlagen, welche X … ganz lesenAngabe von mindestens drei in Art und Umfang vergleichbaren Referenzprojekten aus den letzten fünf Jahren, jeweils mit Kurzbeschreibung des Geräts, Angabe des Auftraggebers (Name + Kontaktdaten) und Jahresangabe der Leistungserbringung. Als vergleichbare Maschinen gelten Plasma-FIB Anlagen, welche Xenon als Gas nutzen. Reine Ionen-FIB Anlagen mit Gallium zählen hier nicht. Als vergleichbare Referenzprojekte gelten dabei Anlagen, welche in der Halbleiterfertigung bzw. Halbleiterforschung (Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid, Galliumnitrid etc.) eingesetzt werden.
Durchschnittliche jährliche Belegschaft
Darstellung der Firma Mindestangaben: Gründungsjahr, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
Finanzkennzahlen
Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre - Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-19ed4bdcea3-391b251bc0540235
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen, Rein nationale Ausschlussgründe
Begrenzung der Bewerberzahl
3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
12 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Zulässig
Einreichung über
vergabe.fraunhofer.de
Sprache
Deutsch, Englisch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenEin Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
#Besonders auch geeignet für:other-sme#

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

3.245Bekanntmachungen
1.264Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Mehr von Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Alle 44 offenen Ausschreibungen von Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, dazu Zuschläge und Auftragnehmer

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge
1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Bayern (31 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens5 Meldungen

  1. BekanntmachungFrist 24.07.2026
  2. 4. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist von 31.07.2026 auf 17.08.2026 verschoben
  3. 3. Berichtigung (diese Seite) · Aktualisierte InformationenFrist von 24.07.2026 auf 31.07.2026 verschoben
  4. 2. Berichtigung · Aktualisierte InformationenFrist 24.07.2026
  5. 1. Berichtigung · Korrektur – BeschafferFrist 24.07.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Ähnliche offene Ausschreibungen

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 7b74bc0e-1d36-43ac-a9a8-a5c17afbec3b.