FIB-SEM

Im Innovationszentrum Ulm werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum in Zusammenarbeit von Industrie und DLR Quantenprozessoren auf Basis von negativ geladenen NV (nitrogen vacancy)-Zentren in Diamant gebaut. Für die Ausstattung dieses Reinraums werden Großgeräte beschafft, um die Entwicklung eines NV-Zentren-basierten Quantencomputers bestmöglich zu ermöglichen. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird ein FIB-SEM-System zur gezielten Erzeugung von NV-Zentren in Diamant, sowie zur Oberflächenbearbeitung und -untersuchung beschafft. Ziel ist es, NV-Zentren im Diamanten möglichst positionsgenau zu erzeugen. Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw. Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit kön-nen kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mit unterschiedlichem Erfahrungslevel genutzt.