Ersatzbeschaffung eine UHV-Manipulators für die Molekularstrahlepitaxy (MBE)-Anlage

Nationale Ausschreibung nach UVgO Vorinformation

1. Öffentlicher Auftraggeber

Name und Anschrift: Martin-Luther Universität - Abteilung 2 - Finanzen Universitätsplatz 10 06108 Halle (Saale) Telefonnummer: +49 3455521074 E-Mail: frank.dietrich@verwaltung.uni-halle.de Faxnummer: +49 3455527631 Internet:

2. Vergabeverfahren

Verhandlungsvergabe Rechtsrahmen: UVgO

3. Auftragsgegenstand:

Ersatzbeschaffung eine UHV-Manipulators für die Molekularstrahlepitaxy (MBE)-Anlage

4. Ort der Ausführung

Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Institut f. Physik / Fachgruppe Optik Professor Georg Woltersdorf Von-Danckelmann-Platz 3 06120 Halle (Saale)

5. Art und voraussichtlicher Umfang der Leistung:

Leistungsbeschreibung UHV Manipulator Es soll ein Manipulator für das Ultrahochvakuum beschafft werden. Der Manipulator soll folgende Eigenschaften haben: Passend an einem CF-63 Flansch Bauform: XY-Plattform, darüber Z-Stage, darüber differentiell gepumpte Rotationsplattform mit Ionenpumpe und Netzteil, darüber UHV-Kammer zur Verkabelung und zwei zusätzliche CF 16 Drehdurchführungen Freiheitsgrade: Bewegung in X und Y (mindestens 12 mm), Bewegung in Z (mindestens 100 mm) und Rotation (differentiell gepumpte Rotationsplattform über dem XYZ Manipulator Genauigkeit der Einstellung: XY besser als 4 μm; Z besser 6 μm Kompakte UHV Kammer mit CF-63 Flansch für die Verkabelung zur Anbringung auf der Rotationsplattform mit mindestens 5 CF-16 Flanschen (seitlich oder schräg) und einem CF-35 Flansch (gerade) Zubehör: zwei magnetisch gekoppelte Drehdurchführungen mit CF-16 Flansch Das System soll für Vakuum im Bereich von 2x10-11 mbar geeignet sein. Die erforderlichen Dichtungen Schrauben und Blindflansche sollen enthalten sein. Die eigentlichen Probenaufnahme und die Verwendung der zwei CF 16 Drehdurchführungen und die Verkabelung wird durch den Endkunden entwickelt. Eine kompakte Bauweise des Manipulators wird bevorzugt.

6. Voraussichtlicher Zeitraum der Ausführung:

Fertigstellung der Leistungen bis: Dauer der Leistung: Schnellstmöglich ggf. Beginn der Ausführung:

7. Sonstiges:

Labortechnik/ Messtechnik