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Frist abgelaufenEU-weitLabor- und MessgeräteDienstleistungen1 Berichtigung

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Universität Duisburg-Essen · Duisburg, Nordrhein-Westfalen

Aktenzeichen 61-26 SFveröffentlicht 30.09.2026erstmals 09.09.2026DienstleistungenOffenes Verfahren

Angebotsfristseit 8 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungevergabe.nrw.de

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Auf einen Blick

Art des Auftrags
Dienstleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
6 Monate
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Duisburg47057, Nordrhein-Westfalen
Einreichung
elektronisch: Erforderlichevergabe.nrw.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetja
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 60 Tage (41 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (91 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Erstveröffentlichung
    vor 59 Tagen
  2. 1. Berichtigung (diese Fassung)
    vor 38 Tagen
  3. Fragen bis 23:59 Uhr
    an Universität Duisburg-Essen
    vor 37 Tagen
  4. Angebotsfrist 12:00 Uhr
    nur elektronisch über evergabe.nrw.de
    vor 8 Tagen
  5. Heute
  6. Bindefrist endet
    39 Tage ab Angebotsfrist, von uns berechnet
    in 31 Tagen

Beschreibung

1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt).

Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag0 von 1 angegeben

Kriterien
keine Angabe

Eignung13 von 13 angegeben

Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
521 Eigenerklärung Ausschlussgründe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Erklärung das keine zwingende Ausschlussgründe nach §123 GWB vorliegen. Aufgrund fehlender Auswahlmöglichkeiten unter wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen: Eigenerklärung Formular 521 (EU) ist auszufüllen.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
523 - Eigenerklaerung Sanktionspaket (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Aufgrund fehlender Auswahlmöglichkeiten unter wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen: Eigenerklärung Sanktionen (Formular 523) ist auszufüllen.
Anteil der Unterauftragsvergabe
533a Informationen zu Unterauftraegen bei Angebotsabgabengsleiher (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Anteil der Unterauftragsvergabe
533b Nachweis Unterauftragnehmer (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Anteil der Unterauftragsvergabe
534a Erklaerung Eignungsleihe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Anteil der Unterauftragsvergabe
534b Erklaerung Eignungsleihe Haftungserklärung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Anteil der Unterauftragsvergabe
Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt: ausgefüllte Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531 EU) b … ganz lesenAngabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt: ausgefüllte Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531 EU) bei Unteraufträgen: Erklärung Unteraufträge (Formular 533a EU oder 533b EU) bei Eignungsleihe: Erklärung Eignungsleihe (Formular 534a EU oder 534b EU)
Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: Installation und Inbetriebnahme neuer Aixt … ganz lesenReferenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE Systemen. Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE Anlage um ein oder mehrere Quell-materialien. Servicearbeiten an Aixtron Showerhead Reaktoren, wie Austausch und Reinigung eines ShowerheadsUmbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate. Sämtliche o. g. Kriterien müssen erfüllt sein. Der Nachweis muss jedoch nicht durch einen einzelnen Referenzauftrag erfolgen. Es genügt, wenn die Gesamtheit der Referenzaufträge jedes Kriterium mindestens einmal nachweist.. Zu jedem Referenzprojekt ist der beiliegende Referenzbogen auszufüllen und mit folgenden Inhalten: Angabe der Projektbeschreibung, Leistungsumfang und Leistungszeitraum, Auftraggeber mit Ansprechpartner. Die personenbezogenen Kontaktdaten sind nur mit dem Einverständnis der Referenzgeber einzureichen. Ansonsten hinterlegen Sie bitte nur das Unternehmen und die entsprechende Abteilung. Sofern die angegebenen Referenzen im Rahmen der Überprüfung negativ auffallen, werden die Angebote nicht berücksichtigt
Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Berufshaftpflichtversicherung (Mit dem Angebot; Mittels Dritterklärung): Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit folgenden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genüg … ganz lesenBerufshaftpflichtversicherung (Mit dem Angebot; Mittels Dritterklärung): Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit folgenden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genügt auch die Vorlage einer Bescheinigung einer Versicherung, dass diese bereit ist, im Auftragsfall eine Versicherung mit den entsprechenden Deckungssummen mit dem Bewerber abzuschließen. Bitte beachten: Wenn ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssumme eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung einer höheren Deckungssumme ist ausgeschlossen.
Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Referenzen - a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: - Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE Systemen - Erweiterung einer … ganz lesenReferenzen - a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: - Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE Systemen - Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE Anlage um ein oder mehrere Quell-materialien - Servicearbeiten an Aixtron Showerhead Reaktoren, wie Austausch und Reinigung ei-nes Showerheads - Umbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate Zu jedem Referenzprojekt ist der beiliegende Referenzbogen auszufüllen und mit folgenden Inhalten: - Angabe der Projektbeschreibung, - Leistungsumfang und Leistungszeitraum, - Auftraggeber mit Ansprechpartner und Telefonnummer. Die personenbezogenen Kontaktdaten sind nur mit dem Einverständnis der Referenzgeber einzureichen. Ansonsten hinterlegen Sie bitte nur das Unternehmen und die entsprechende Abteilung. Sofern die angegebenen Referenzen im Rahmen der Überprüfung negativ auffal-len, werden die Angebote nicht berücksichtigt.
Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Berufshaftpflichtversicherung - b) Berufshaftpflichtversicherung Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit fol-genden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genügt auch … ganz lesenBerufshaftpflichtversicherung - b) Berufshaftpflichtversicherung Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit fol-genden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genügt auch die Vorlage einer Bescheinigung einer Versicherung, dass diese bereit ist, im Auf-tragsfall eine Versicherung mit den entsprechenden Deckungssummen mit dem Bewerber abzuschlie-ßen. Bitte beachten: Wenn ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssumme eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung einer höheren Deckungssumme ist ausgeschlossen.
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Rein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Vers … ganz lesenRein nationale Ausschlussgründe, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Schwere Verfehlung, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Laufzeit und Umfang3 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
6 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
Optionale Leistung: Neben den Mindestanforderung sind nachfolgende Leistungen optional anzubieten. Diese sind gesondert im Angebot anzugeben und bepreisen. Mit der Zuschlagserteilung entscheidet der Auftraggeber, welcher der optionalen Leistungen zusätzlich beauftragt werden. Prozesssupports: Da du … ganz lesenOptionale Leistung: Neben den Mindestanforderung sind nachfolgende Leistungen optional anzubieten. Diese sind gesondert im Angebot anzugeben und bepreisen. Mit der Zuschlagserteilung entscheidet der Auftraggeber, welcher der optionalen Leistungen zusätzlich beauftragt werden. Prozesssupports: Da durch den Austausch prozessrelevanter Anlagenkomponenten Auswirkungen auf die Prozessführung nicht ausgeschlossen werden können, ist als optionale Leistung ein Prozess-support nach Abschluss der Umbauarbeiten anzubieten. Der optionale Prozesssupport umfasst insbesondere die Unterstützung bei der Wiederaufnahme des Anlagenbetriebs, die Überprüfung und Optimierung von Prozessparametern sowie die Begleitung erster Prozessläufe nach der Umrüstung umfassen. Der Bieter hat den Umfang, die Dauer, die enthaltenen Leistungen sowie die hierfür anfallen-de Vergütung des optional angebotenen Prozesssupports im Angebot darzustellen und zu bepreisen.
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung8 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
evergabe.nrw.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
39 Tage
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Siehe Vergabeunterlagen
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Westfalen, Albrecht-Thaer-Straße 9, 48147 Münster
Fristen für Nachprüfungsanträge
§160 GWB: Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens … ganz lesen§160 GWB: Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen. Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen. Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in der Bekanntmachung genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen2 von 2 angegeben

Hinweis
#Besonders auch geeignet für:other-sme#
Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXS0YEQDYYVZGA33# Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf … ganz lesen#Bekanntmachungs-ID: CXS0YEQDYYVZGA33# Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein. Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool "Kommunikation" auf der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mailadresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter. Der Antrag auf Nachprüfung ist gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt."

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Universität Duisburg-Essen
Art
Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Forsthausweg 2, 47057 Duisburg
Website
uni-due.de
Kontakt
vergabe@uni-due.de

Bei uns erfasst

584Bekanntmachungen
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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 510 (Installation (außer Software)) in Nordrhein-Westfalen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

10vergebene Aufträge
4,5Angebote je Los im Median (18 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 4 Meldungen plausibel angegeben

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. 1. Berichtigung (diese Seite) · Korrektur – BeschafferFrist von 09.10.2026 auf 30.10.2026 verschoben
  2. BekanntmachungFrist 09.10.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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