Energiedispersive Röntgenspektrometer für die Röntgenmikroanalyse am Elektronenmikroskop

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zwei stickstofffreie, energiedispersive Röntgenspektrometer (EDX) für die qualitative und quantitative Röntgenmikroanalyse an einem Elektronenmikroskop anzuschaffen. Das erste EDX System soll insbesondere eine hohe Sammeleffizienz für die erzeugte Röntgenstrahlung, einen hohen Impulsdurchsatz, eine hohe Performance im Bereich der leichten Elemente sowie eine gute Energieauflösung bieten. Das System soll darüber hinaus über ein leistungsfähiges Scansystem für die Aufnahme von Bildern, Linienscans und Element-Mappings verfügen. Es soll eine automatisierte, interaktive und manuelle Auswertung der aufgenommenen Röntgenspektren ermöglichen. Die Quantifizierung der Spektren soll standardbezogen und standardfrei mittels unter-schiedlicher Methoden erfolgen können und ebenfalls eine automatische, interaktive und manuelle Vorgehensweise ermöglichen. Eine online-Entfaltung zur sicheren Separation überlagerter Peaks und deren Beurteilung durch den Operator soll möglich sein. Eine Erweiterung des Systems auf weitere analytische Methoden wie EBSD, µ-XRF oder WDS sollte gegeben sein. Das zweite EDX System soll sich vor allem durch eine einfache und intuitive Bedienbarkeit auszeichnen. Es soll über automatische, interaktive und manuelle Möglichkeiten der Spektrenauswertung sowie über ein Scansystem für die Aufnahme von Bildern, Linienscans und Element-Mappings verfügen. Die Ansprüche hinsichtlich Sammeleffizienz Leichtelementperformance sind geringer als beim ersten System. Beide Systeme sollten über ein flexibles Projektmanagement sowie Tools für schnelle Berichtgestaltung & -export verfügen. Außerdem sind diverse Exportformate für die Spektrengrafiken und -datensätze erforderlich (einschließlich StrataGem). Alle Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.