Elektronenmikroskop

Es soll ein neues Elektronenmikroskop beschafft werden, gemäß nachfolgenden Anforderungen:

Schottky-Feld-Emissions-Rasterelektronenmikroskop Vergrößerungsbereich 30x - 1.Mx Niedrigste Spannung 100V Maximale Spannung >=30kV Minimaler Strom 10pA Maximaler Strom 20nA Kontinuierlich frei justierbarer Probenstrom bei konstanter Beschleunigungsspannung (kV) System ist geeignet bei der geforderten maximalen Beschleunigungsspannung (AP4) EBSD-Messungen ohne messbare Beugungsverzerrungen (bspw. Bandverzerrungen) durchzuführen.

Auflösung gemessen nach ISO 24597:2011: Unter Verwendung der Ableitungsmethode: gemessen an den 25/75 Perzentilen. Der AP 9 gilt für die nachfolgenden AP 10 und AP 11 sowie für deren jeweilige Anforderungsunterpunkte.

Auflösung @ 15kV (kein "Stage Biasing") Dieser Test muss unter Berücksichtigung der EBSD-Abbildungbedingungen durchgeführt werden. So sollten z. B. keine magnetischen/elektrostatischen Linsenmodi verwendet werden, die die EBSD-Analytik stören. Die Auflösung sollte bei ein Spektroskopiearbeitsabstand des Mikroskops gemessen werden (typischerweise 8-10 mm).

Auflösung @ 1kV 1,5nm

Evhart Thornly Sekundärelektronendetektor (SE-Detektor)

Ein Szintillator basierter In-Kammerarückstreudetektor oder ein Solid State ringförmiger Multisegmentrückstreudetektor (konzentrische Segmente) muss im Angebot enthalten sein. Sollte ein zweiter BSE-Detektor vom jeweils anderen Typ verfügbar sein, erstellen Sie bitte ein spezifisches Angebot unter optionalen Zubehör. Der BSE-Detektor sollte in einem breiten Beschleunigungsspannungsbereich (<1kV) bis zu 30kV betrieben werden können. Weiterhin muss der BSD-Detektor elektrisch motorisiert (nicht manuell) ein- und ausfahrbar sein. Hinweis: wählen Sie bitte für das Hauptangebot den jeweils höherwertigen BSE-Detektor für eine optimale Bildgebung der Ihnen zugesendeten Test- und Vergleichsproben aus.

Solid State ringförmiger Multisegmentrückstreudetektor (konzentrische Segmente)

1. InLens Detektor Die Kombination von 1 oder mehreren In-Lens-Detektoren muss sowohl SE- als auch BS-Elektronen erkennen und eine getrennte SE- oder BSE-Abbildung ermöglichen (z. B. durch Filterung). Die Energiefilterung muss in der Säule erfolgen und dabei die Entfernung von SE-Elektronen und die Abbildung des reinen Rückstreusignals (oder in umgekehrter Funktion) ermöglichen. 2. InLens Detektor Hinweis: Zusätzliche Inlens-Detektoren MÜSSEN eine gleichzeitige Erfassung von Signalen mit den anderen Inlens-Detektoren ermöglichen, um zusätzliche Wertungpunkte zu erhalten. 3. InLens Detektor Hinweis: Zusätzliche Inlens-Detektoren MÜSSEN eine gleichzeitige Erfassung von Signale mit den anderen Inlens-Detektoren ermöglichen, um zusätzliche Wertungpunkte zu erhalten. Übersichtskamera welche in die Probenkammer gerichtet ist und eine generelle Übersicht über die Probenkammer hat. Die Übersichtskamera muss so positioniert sein, dass die EBSD-Kamera und der EDX- Detektor beim Ein- und Ausfahren gut zu sehen sind, ODER es muss eine zweite Kammerkamera für diesen Zweck vorhanden sein.

Zweite Übersichtskammera Eine Kammera welche den Zweck erfüllt, eine Übersichtsaufnahme aus einer geeigneten Position zu tätigen welche es ermöglicht, an eine gewünschte Probenstelle (bzw. Position auf einem Probenhalter) zu navigieren. Die Navigationskammera kann auch unter Vakuum (geschlossene Arbeitskammer) verwendet werden.

Auflösung bei Einzelbildaufnahme 20Mpix

Technologie für eine Bildgebung mit einer höheren Spannung in der Säule, die beim Austritt in die Kammer auf eine niedrigere Bildgebungsspannung reduziert wird.

Technologie zur gleichzeitigen Erkennung von mehreren Kanälen (Eingangssignalen für Bildgebung) 4 Kanäle

Ausgabe von RAW-Bildern (ohne Bildbearbeitung) Stufenvorspannung für Strahlverzögerung

Großes Sichtfeld (FOV) bei Spektroskopiearbeitsabstand (8-10 mm) 4mm

Scanfeld-Rotation Dynamischer Fokus mit automatischer Fokussierung des dynamischen Fokus Automatische Justierung des Fokus (Autofokusfunktion) Automatische Justierung des Stigmators (Autostigmatorfunktion) Automatische Justierung/Ausrichtung der Blenden Driftkorrigierte Bildgebung Kompatibel mindestens zu folgenden analytischen Geräten der FA Oxford. Oxford Symmetry S2 (SN: 051J004543; Pt.Nr.: 51-1187-005; DoM: Nov 2020) und UltimMax 100 (SN: 051T000046; Pt.Nr.: 51-1137-098; DoM: Nov 2020) Vorhandene Analytik muss übernommen werden und in das zu beschaffene Neugerät integriert werden können. Der Funktionsumfang der Analytik muss vollumfänglich gewährleistet sein. Optischer und/oder akustischer Alarm sollten Teile (Halter oder Probe o.Ä.) in der Kammer Teile der Analytik berühren (Touchalarm). Simulationsbasiertes System zur Vermeidung von Kollisionen

Anzahl der Adapter für externe Geräte 11 Adapterplätze

Mindestanzahl der kompatiblen Adapterplätze für Rückstreudetektoren 2 Adapterplätze

Mindestanzahl der kompatiblen Adapterplätze für EDS-Detektoren 2 Adapterplätze

Kammerbreite bzw. -tiefe 250mm

Probengewicht bei aktivierten X/Y/Z/R/T Achsen 500g

Maximale Probengröße (Durchmesser, voller X/Y-Bereich) 100mm

Maximale Probenhöhe 50mm

Plasmareiniger im Standardlieferumfang Arbeitsbühne mit motorisierten X/Y/Z/R/T Achsen

Stumpf- und Klemmhalter im Standardlieferumfang, wobei der Klemmhalter Proben von mindestens 50mmx50mm aufnehmen können muss. Je ein Halter

X-Y-Bewegungsbereich (bei aktivierter Z/R/T Achse) 100mm

Z-Bereich (bei aktivierter R/T Achse) 50mm

Neigungsbereich (bspw. in Richtung der EBSD-Kammera) +70°/-5°

Rotation um Z-Achse (volle 360°) mindestens 360°

Faradayscher Becher für Sondenstromerfassung

Ein Computersystem, moderner (DoM 2022+) Prozessor, mindestens i5 oder gleichwertige Komponente anderer Hersteller, oder besser, mindestens 32 GB Arbeitsspeicher, Windows 10 Betriebssystem oder höher

Aufgrund der begrenzten Zeichenanzahl bitten wir Sie die vollständige Leistungsbeschreibung den Vergabeunterlagen zu entnehmen.